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单晶炉真空密闭性能的检验技术

施政

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.01.040

单晶炉炉室真空密闭性能是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素.本文主要介绍的是在制造单晶炉炉室和屯装配调试过程中,采用不同的工艺循序渐进地对单晶炉真空密闭性能进行检验,从而提高单晶炉设备的性能.

关键词: 单晶炉 , 真空 , 检漏