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用低温Raman散射光谱研究不同处理的CdZnTe表面

裴慧元 , 方家熊

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.025

利用低温Raman散射光谱分析,比较了4种典型处理的Cd0.96Zn0.04Te表面声子散射信号和表面元素沉积的变化.对-220～-90cm-1的反斯托克斯分量进行分析得出,BM液腐蚀后的表面晶格完整性最好;LB液处理有利于进一步改善表面粗糙度和表面漏电流;离子轰击的表面缺陷多,质量差,但对制备良好欧姆接触的电极有现实意义.实验证明Raman散射光谱对于探测表面上元素的沉积和分析表面质量的变化,进而优化表面处理工艺十分有效.

关键词: Cd0.96Zn0.04Te , Raman散射光谱 , 表面处理

中波碲镉汞边缘接触不对称MIS结构的低频噪声

张燕 , 方家熊

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.025

对两种不同结构的中波碲镉汞光导红外探测器件的噪声进行了测量,发现叠层结构器件的低频噪声比具有简单结构器件的大.针对叠层结构,提出了用来分析噪声的边缘接触不对称MIS结构模型.分析表明,叠层电极下的碲镉汞表面在偏置电压作用下,容易出现耗尽层是低频噪声增加的主要原因.

关键词: 碲镉汞 , 探测器 , 叠层结构 , 低频噪声

CdTe介质膜与HgCdTe晶片间界面特性的研究

周咏东 , 赵军 , 李言谨 , 方家熊

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.02.022

利用Ar+束溅射沉积技术在HgCdTe表面低温生长了CdTe介质薄膜.分别用CdTe介质膜和HgCdTe自身阳极氧化膜对HgCdTe表面钝化.利用光电导衰退信号波形的拟合,得到了不同表面钝化的HgCdTe非平衡载流子表面复合速度.结果表明,CdTe/HgCdTe界面质量已超过自身阳极氧化膜/HgCdTe界面质量.

关键词: CdTe , Ar+ , 束溅射沉积 , HgCdTe , 光电导衰退 , 表面复合速度

ZnS薄膜的溅射沉积及其XPS研究

周咏东 , 方家熊 , 李言谨 , 龚海梅 , 汤定元

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.06.031

用Ar+束溅射沉积技术在HgCdTe表面实现了ZnS的低温沉积．用 X射线光电子能谱(XPS)对上述ZnS薄膜以及热蒸发ZnS薄膜中的Zn、S元素的化学环境进行了对比实验研究．实验表明：离子束溅射沉积ZnS薄膜具有很好的组份均匀性，未探测到元素Zn、S的沉积．

关键词: ZnS , 离子束溅射沉积 , XPS , HgCdTe , 表面抗反射膜

激光能量对碲镉汞注入样品退火效果的影响

张燕 , 李向阳 , 方家熊

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.036

利用脉冲YAG激光器对砷注入长波碲镉汞样品进行激光退火,分析不同能量密度的激光光束退火所引起的样品表面电学性质的变化.实验表明,激光能量密度越大,激光退火的效果越明显.我们认为要达到理想退火效果,样品表面一薄层需处于近熔化状态,以得到晶格结构的重新组织.

关键词: 碲镉汞 , 激光退火 , 迁移率谱

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