周晟
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李毅
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朱慧群
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孙若曦
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张宇明
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黄毅泽
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李榴
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沈雨剪
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郑秋心
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佟国香
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方宝英
稀有金属材料与工程
为解决VO2薄膜相变温度过高,热滞回线温宽过大以及掺杂后红外透过率变低等问题,开展了低成本钨钒共溅热致变色薄膜制备工艺的探索.先在室温条件下采用磁控共溅射的方法于玻璃基片上制备得到含钨量为1.4％的金属薄膜,再在空气中采用后退火工艺使金属薄膜充分氧化为热致变色薄膜.对薄膜样品的物理结构和光学性能进行了分析,发现钨钒共溅没有改变VO2薄膜在玻璃表面择优取向生长,但显著改变了VO2薄膜的表面形貌特征.观察到钨钒共溅热致变色薄膜的相变温度较普通VO2薄膜从68℃降低至40℃,热滞回线温宽由6℃缩小为3℃,低温半导体相的红外透过率分别为62％和57％.结果表明,钨钒共溅可达到相变温度降低,热滞回线温宽变窄,掺杂前后红外透过率变化不大之目的.
关键词:
热致变色
,
共溅射
,
VO2薄膜
,
相变
严梦
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李毅
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方宝英
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梁倩
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丁杰
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王锋
,
覃源
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佟国香
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王晓华
稀有金属材料与工程
为了得到相变温度低且变色性能优越的光学材料,使其能够广泛应用于智能窗领域,对周期结构VO2纳米点阵的相变和光学特性展开了研究.用修正的Sellmeier色散模型结合二维点阵周期结构的等效折射率计算了VO2纳米点阵在不同占空比下的反射率和透射率.利用多孔氧化铝模板掩膜溅射法,先在玻璃上制备钒金属纳米点阵,再经热氧化工艺制备出VO2纳米点阵,测试其表面形貌、组分结构、红外反射和透射谱线.结果表明,占空比为0.83的纳米点阵其相变温度有效降低至43℃,在1700 nm处透射率改变量达到29％,表现出良好的变色特性,且透射率整体高于VO2薄膜.说明通过制备较佳占空比的纳米点阵可以有效降低材料的相变温度,提升材料的热致变色性能.
关键词:
VO2
,
纳米点阵
,
热致变色
,
薄膜
,
相变
