文黎巍
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周俊敏
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苗挂帅
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贾瑜
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杨仕娥
人工晶体学报
用第一性原理密度泛函理论研究SiH4在Si(001)-(2×1)表面的分裂吸附及吸附后的结构、能量和成键特性,计算了反应物、过渡态及生成物三个状态的能量,吸附能和反应能.计算结果表明:SiH4在Si(001)-(2×1)重构表面吸附的可能反应路径是由于SiH4中Si-H键的拉长和二聚体键的断裂导致的,形成产物Si(001)-(2×1)(SiH3:H);由SiH4分裂的能量势垒0.78 eV说明所推测的反应路径是合理的.
关键词:
第一性原理
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吸附能
,
结构参数
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反应机制
文黎巍
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郭巧能
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丁俊
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文书堂
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杨仕娥
材料导报
阐述了计算机模拟薄膜生长的重要意义,介绍了计算机模拟薄膜生长的主要步骤和方法,重点阐述了蒙特卡罗和分子动力学方法的基本原理、关键问题及研究与应用进展,展望了薄膜生长计算机模拟的发展趋势.
关键词:
薄膜
,
计算机模拟
,
蒙特卡罗
,
分子动力学
