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退火温度对ZnO/Mo/ZnO透明导电薄膜结构及光电性能的影响

孙洪涛 , 王小平 , 王丽军 , 王金烨 , 孙义清 , 李剑 , 文俊伟 , 刘凌鸿 , 于颖

材料科学与工程学报

采用电子束蒸发法成功制备了透明导电的ZnO/Mo/ZnO(ZMZ)复合薄膜,研究了不同的退火温度对其电学和光学性质的影响规律.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、X射线能谱仪、紫外可见分光光度计和四探针测试仪等检测手段对样品的性能进行了分析.实验结果表明:随着退火温度的升高,薄膜的结晶程度提高,晶粒尺寸增大;薄膜的电阻率先降低后升高;薄膜的光学透过率先升高后降低.当退火温度为250℃时,ZnO/Mo/ZnO薄膜具有最佳的综合光电性能,在400nm~900nm波长范围内最高透过率为81.4%,平均透过率高于80%,最低电阻率为1.71×10-4Ω·cm,表面电阻为15.5Ω/sq.研究表明所制备的ZMZ复合透明导电薄膜可应用于太阳能电池、液晶显示器等领域.

关键词: 氧化锌 , 透明导电薄膜 , 多层膜 , 光电性能

石墨烯在场发射器件中的应用与研究现状

李剑 , 王小平 , 王丽军 , 文俊伟 , 于颖 , 刘凌鸿

材料科学与工程学报

场电子发射是一种独特的量子隧穿效应,也是真空微电子学的基础之一.基于场发射技术的冷阴极发射体一直被视为未来理想的电子发射阴极.石墨烯是一种具备单层碳原子结构的新型碳材料,其电子迁移率高、机械强度高、热导率高,具有稳定的物理化学特性,因此受到科研工作者的广泛关注.与此同时石墨烯具有较高的长径比(横向尺寸与厚度的比值),这一结构特性能够获得较大的场增强因子.石墨烯的上述特性使得其成为具有广阔应用前景的场发射阴极.本文主要综述石墨烯场发射理论的研究进展、石墨烯/石墨烯基场发射阴极的研究现状、场发射阴极结构以及场发射阴极的制备方法,并对场发射领域的石墨烯研究进行了展望.

关键词: 石墨烯 , 场发射 , 复合阴极

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