折洁
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张程煜
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张贝贝
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乔生儒
材料导报
采用真空多弧离子镀技术在X12CrMoWVNbN10-1-1耐热钢表面沉积Ti(CN)涂层,研究了涂层的组织和性能,并对涂层的抗热震和抗氧化性进行了研究.结果表明,采用适当的沉积温度、压力及N2流量,可以在X12CrMoWVNbN10-1-1耐热钢表面得到以Ti(CN)为主的致密涂层,在沉积温度400℃时,该涂层的最高硬度可达2438.7HV0.025,涂层在650℃以下具有良好的抗氧化性能,在700℃以下具有良好的抗热震性能.
关键词:
多弧离子镀
,
Ti(CN)涂层
,
抗氧化性
,
抗热震性
张贝贝
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张程煜
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折洁
,
乔生儒
材料导报
简述了TiAlN涂层的应用领域、氧化机理以及采用磁控溅射制备该涂层的方法,分析了制备过程中N2分压、Al靶功率以及基体温度对涂层抗氧化性能的影响规律.同时指出了致密、膜基结合力高的涂层具有较高的抗氧化性;加入其他合适元素和合理设计过渡层不仅可以提高涂层与基体的物理匹配程度,减小内应力,同时也可提高膜基结合力,改善涂层的热力学稳定性及抗氧化性能,将成为今后的研究趋势.
关键词:
磁控溅射
,
TiAlN涂层
,
氧化机理
,
工艺参数
,
抗氧化性
,
过渡族元素
,
多元多层
