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有机发光器件的低温氮化硅薄膜封装

黄卫东 , 王旭洪 , 盛玫 , 徐立强 , 罗乐 , 冯涛 , 王曦 , 张富民 , 邹世昌

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.015

利用等离子体化学气相沉积( PECVD)技术 ,采用不同的沉积条件 (20~ 180℃的基板温度范 围和 10~ 30W的射频功率 )制备了氮化硅薄膜,研究了沉积条件对氮化硅薄膜性质和防水性能的 影响.实验发现随着基板温度的增加 ,氮化硅薄膜的密度、折射率和 Si/N比相应增加 ,而沉积速 率和 H含量相应减少 ;随着射频功率的增加 ,氮化硅薄膜的沉积速率、密度、折射率和 Si/N比相 应增加 ,而 H含量相应减少.水汽渗透实验发现即使基板温度降低为 50℃,所沉积的氮化硅薄膜 仍然具有良好的防水性能.实验结果表明低温氮化硅薄膜可以有效地应用于有机发光器件( OLED) 的封装.

关键词: 氮化硅薄膜 , 有机发光器件 , 封装

电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究

黄卫东 , 王旭洪 , 王莉 , 盛玫 , 徐立强 , FrankStubhan , 罗乐

腐蚀学报(英文)

测量了在FR4基板上用引线键合和顶充胶封装的湿度传感器在无防护、氮化硅薄膜防护、硅酮涂层防护、硅酮涂层加氮化硅薄膜防护四种情况下及在不同温湿度环境下的水汽扩散曲线。应用有限元分析和FICK扩散方程模拟了实验曲线,得到了水汽在各种防护条件下的扩散系数,进而计算出水汽扩散的激活能,定量比较了各种防护方法的效果。实验和模拟结果表明:硅酮加氮化硅薄膜的双层防护可以显著改善电子模块的防水性能。

关键词: 封装 , null , null , null

电子封装中氮化硅/硅酮双层薄膜的水汽防护研究

黄卫东 , 王旭洪 , 王莉 , 盛玫 , 徐立强 , Frank Stubhan , 罗乐

腐蚀学报(英文) doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2004.05.007

测量了在FR4基板上用引线键合和顶充胶封装的湿度传感器在无防护、氮化硅薄膜防护、硅酮涂层防护、硅酮涂层加氮化硅薄膜防护四种情况下及在不同温湿度环境下的水汽扩散曲线.应用有限元分析和FICK扩散方程模拟了实验曲线,得到了水汽在各种防护条件下的扩散系数,进而计算出水汽扩散的激活能,定量比较了各种防护方法的效果.实验和模拟结果表明:硅酮加氮化硅薄膜的双层防护可以显著改善电子模块的防水性能.

关键词: 塑料封装 , 湿度传感器 , 水汽扩散 , 有限元分析

VC含量对Ti(C,N)基金属陶瓷力学性能的影响

徐立强 , 黄传真 , 王随莲 , 侯志刚 , 刘含莲

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2007.11.013

采用热压烧结法制备了不同VC含量的Ti(C0.7N0.3)-(Ni-Co)-Cr2C3-VC系Ti(C,N)基金属陶瓷,通过扫描电镜观察了组织结构与断口形貌,用三点弯曲法测试抗弯强度,用压痕法测得试样硬度和断裂韧度;分析了VC含量对材料力学性能和断口形貌的影响.结果表明:材料的断裂均以沿晶断裂为主,随着VC含量的增加,材料的抗弯强度呈下降趋势,而硬度和断裂韧性呈上升趋势;VC含量为16%时,试样的综合性能最好.

关键词: Ti(C,N)基金属陶瓷 , 力学性能 , 显微结构 , VC

稀土增韧金属陶瓷的工艺优化

徐立强 , 黄传真 , 侯志刚 , 刘含莲

稀土 doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2008.03.011

研究了烧结温度对稀土增韧Ti(C,N)基金属陶瓷刀具材料力学性能和显微结构的影响.结果表明,烧结温度对Ti(C,N)基金属陶瓷的力学性能影响很大,材料在1350℃和1400℃不致密,力学性能较差;材料在1450℃和1500℃比较致密,力学性能大幅提高.随温度升高,粘结金属容易析出,会对断裂韧性带来影响.材料的断裂方式以沿晶断裂为主.

关键词: 烧结温度 , 稀土氧化物 , Ti(C0.7N0.3)基金属陶瓷 , 显微结构 , 力学性能

TQFP器件的分层开裂和PECVDSiNx薄膜对TQFP器件防水性能的影响

赵润涛 , 王旭洪 , 陈翔 , 徐立强

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.01.020

研究了薄型扁平四面封装(TQFP)器件在再流焊工艺中的分层开裂过程和PECVDSiNx薄膜对器件防水性能的影响。实验发现,水汽含量是引起器件分层开裂的主要原因;银浆与塑封料,芯片衬垫与塑封料之间的结合面是TQFP器件的薄弱环节,分层现象是由这些部位产生和扩展的。PECVDSiNx薄膜能有效降低进入TQFP器件中的水汽含量,在一定程度上消除开裂和分层现象,并且薄膜越厚,防水效果越好,消除开裂和分层现象的作用也越明显。

关键词: 分层 , 氮化硅薄膜 , TQFP器件 , 防水性能 , PECVD

纳米Al2O3对Ti(C,N)基金属陶瓷性能的影响

徐立强 , 王随莲 , 黄传真 , 侯志刚 , 刘含莲

稀有金属材料与工程

研究了纳米Al2O3对Ti(C,N)基金属陶瓷力学性能的影响,探讨了微米/纳米金属陶瓷的增韧机制.对断裂模式的改变、显微结构的变化、多条裂纹的产生等进行了分析.

关键词: Ti(C,N)基金属陶瓷 , 纳米Al2O3 , 增韧机制 , 显微结构 , 断裂模式

微米/纳米Ti(C,N)基金属陶瓷刀具材料的研制

徐立强 , 侯志刚 , 黄传真 , 刘加光

钛工业进展 doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2007.05.007

系统研究了添加纳米级Al2O3的含量对Ti(C,N)基金属陶瓷力学性能和显微结构的影响.结果表明:纳米Al2O3的添加可大幅提高Ti(C,N)基金属陶瓷的力学性能,特别是硬度和断裂韧性明显提高,克服了Ti(C,N)基金属陶瓷硬度较低的缺点,扩大了其应用范围.通过对微观结构观察和分析,可以看出,纳米Al2O3的添加细化了基体的晶粒,主要断裂模式为穿晶断裂,晶粒的细化和断裂模式的改变是材料力学性能提高的主要原因.

关键词: Ti(C,N)基金属陶瓷 , 纳米Al2O3 , 力学性能 , 显微结构

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