花银群
,
孙真真
,
陈瑞芳
,
徐瑞丽
功能材料
采用传统陶瓷烧结工艺,制备了直径为50mm,厚度为3 mm的Bi2O3、Sb2O3、CO2O3、Cr2O3、MnO2掺杂的ZnO陶瓷靶,采用所制备的ZnO陶瓷靶和射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上成功制备出了ZnO陶瓷薄膜,并研究了溅射功率和退火温度对ZnO陶瓷薄膜的微观结构和表面形貌的影响.结...
关键词:
无机非金属材料
,
ZnO陶瓷薄膜
,
射频磁控溅射
,
溅射功率
,
退火温度
陈瑞芳
,
徐瑞丽
,
刘海霞
,
花银群
,
崔晓
机械工程材料
采用传统陶瓷烧结工艺,制备了直径为50 mm、厚度为3 mm的Bi2O3陶瓷靶,利用该陶瓷靶和射频磁控溅射技术在Si(111)基体上制备了氧化铋薄膜,研究了溅射压力为0.8 Pa时的氧分压对薄膜物相的影响,并探讨了退火温度(350～550 C)对薄膜的物相和表面形貌的影响.结果表明:随着氧分压从0增...
关键词:
氧化铋
,
薄膜
,
磁控溅射
,
退火温度
