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半导体SnO2纳米晶态粉体显微结构对气敏传感器性能的影响

惠春 , 陈寿田 , 徐爱兰 , 徐毓龙

功能材料

用XRD、SEM手段分析了共沉淀工艺和水热合成技术制备的半导体SnO2纳米晶态粉体及其厚膜陶瓷材料的显微结构,结果表明两种粉体的晶粒尺寸大约7nm,但两种粉体的XRD照片差异较大.用水热合成技术制备的粉体其颗粒是由纳米晶粒团聚而成,颗粒尺寸大约300nm左右,具有较大的表面活性,而用共沉淀工艺制备的粉体,颗粒分布较宽,活性差.两种粉体的显微结构对厚膜陶瓷材料显微结构的形成和SnO2厚膜气敏传感器选择性、灵敏度和稳定性有着显著的影响.

关键词: SnO2 , 纳米晶态粉体 , 气敏传感器

纳米尺度下钯元素的催化效应及气敏机理

惠春 , 徐爱兰 , 陈寿田

稀有金属材料与工程

在研究了贵金属Pd和离子Pd2+催化剂对纳米结构厚膜材料气敏特性的影响之后,提出了纳米催化效应的见解.认为将微量Pd2+的水溶液加入到纳米晶SnO2-x粉体中,可使Pd2+离子均匀地分布.所形成的PdO1-x纳米晶,能更均匀地存在于纳米结构厚膜材料载体中,有望对可燃性气体起到最有效的纳米催化作用.实验结果表明当Pd2+离子最佳的引入量为1.04mol%时,对3000×10-6甲烷的灵敏度可达9~11.

关键词: 纳米催化 , 贵金属钯 , 催化剂 , 气敏传感器

Pd2+离子对TiO2光催化薄膜化学稳定性的影响

徐爱兰 , 惠春 , 许小兵

稀有金属材料与工程

采用Sol-Gel工艺在普通玻璃表面制备出均匀、透明的添加0.3%~0.5%贵金属Pd2+的TiO2-SiO2复合薄膜.通过对薄膜的XRD,SEM表征及薄膜耐酸、碱化学稳定性的检测,结果表明,在TiO2-SiO2薄膜中添加Pd2+,增强了TiO2薄膜的光催化活性,由于Pd2+所起到阻滞剂的作用,使晶粒尺寸减小,表面呈多孔合理结构,改善了TiO2薄膜的显微结构,使薄膜的化学稳定性得到明显的提高.

关键词: TiO2光催化 , 复合薄膜 , 化学稳定性

MEMS气敏传感器

惠春 , 徐爱兰 , 徐毓龙

功能材料

随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一.本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器.

关键词: MEMS技术 , 牺牲层技术 , MEMS气敏传感器

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