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徐志淮 , 李贺军
兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2000.05.008
为了在C/C材料表面可靠地制备SiC抗氧化涂层,针对CVD工艺特点,采用正交设计方法对MTS+H2体系制备SiC工艺过程进行了全面系统的研究,在对沉积过程现象进行观察分析的基础上,计算了6种工艺因素对SiC-CVD过程影响的方差,对各自影响的显著性进行了分析,并讨论了所属的21种工艺条件对沉积结果的影响.
关键词: 碳/碳复合材料 , 碳化硅涂层 , CVD , 正交设计
徐志淮 , 李贺军 , 姜开宇
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.03.023
材料表面抗氧化涂层的质量是限制碳/碳复合材料作为高温结构材料使用的关键.本文运用人工神经网络技术建立了CVD-SiC涂层制备工艺的过程模型,以解决该过程影响因素众多、相互作用关系复杂、难以对制备过程进行有效的预测和控制的问题.研究结果表明:所建立的神经网络模型,可以比较准确和全面地反映各工艺因素对SiC-CVD过程的影响大小及内在规律;模型对工艺参数与沉积速率之间关系的预测与实验结果相吻合;证实了将人工神经网络模型应用于抗氧化涂层的制备过程的控制和工艺优化是有效和可行的.
关键词: C/C复合材料 , SiC涂层 , 神经网络 , 模型
