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FPN的影响因素分析及相关应用

徐德洋 , 王蓬勃 , 孙立宁

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.19.021

钢笔纳米刻蚀技术(Fountain pen nanolithography,FPN)是近年来发展起来的一种新型的基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的扫描探针刻蚀技术,具有加工结构精度高、加工过程操作性强、对加工环境要求低、持续书写等优点.FPN刻蚀过程主要受探...

关键词: 钢笔纳米刻蚀技术 , 原子力显微镜 , 电化学FPN技术