李阳平
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陈海波
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刘正堂
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武倩
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郑倩
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张淼
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徐启远
材料科学与工艺
为了获得具有金字塔结构的二维亚波长结构表面，提高其高宽比，用掩模曝光光刻及反应离子刻蚀技术，以SF6和02为反应气体，在Ge衬底上制备了二维亚波长结构，用扫描电镜对刻蚀图形的形貌进行了观察，研究了功率、气压、气体流量及掩模图形对刻蚀图形的影响，结果表明：刻蚀图形腰部被优先刻蚀，形成凹陷的侧壁轮廓；02流量增大有利于在侧壁形成保护层，从而减小腰部刻蚀、增大顶部及根部刻蚀；功率及气压过大或过小均会使侧壁刻蚀较大；方形图案比圆形图案掩模更有利于刻蚀出深度较大的亚波长结构。
关键词:
锗
,
光刻
,
反应离子刻蚀
,
亚波长结构
,
掩模
徐启远
,
徐永进
,
朱永法
,
姜冬冬
材料导报
集流体用穿孔箔是锂离子电容器的重要组成部分,不仅为锂离子电容器电极预掺锂提供通道,使锂离子迅速、均匀地掺杂到整个电极中,而且还承载电极活性材料,并将产生的电流汇集起来.系统地介绍了穿孔箔的主要结构参数(孔径、孔隙率)对锂离子电容器电化学性能的影响规律及其机理,并综述了锂离子电容器集流体用穿孔箔的制备方法,最后展望了穿孔箔的发展趋势.
关键词:
集流体
,
穿孔箔
,
锂离子电容器
,
预掺锂
