宋林伟
,
黄婉霞
,
张玉波
,
徐元杰
,
张阳
,
李娜
,
李丹霞
功能材料
以双氧水和V2O5粉末为前驱体制备出V2O5溶胶,然后在云母基底上成膜,通过后续热处理退火得到优异相变性能的VO2薄膜.采用SEM、XRD分析薄膜形貌和微观结构,利用FT-IR等检测薄膜的光学性质.实验表明,VO2薄膜在云母基底上沿(011)晶面择优取向生长,颗粒生长致密且大小分布均匀.薄膜具有优异的相变陡然性,相变温度及滞后温宽都较低.在红外波段,相变前后透过率及反射率变化都较大,对红外光调节性能较好；在可见光波段,薄膜在相变前后都具有较高可见光透过率.
关键词:
VO2薄膜
,
相变特性
,
溶胶-凝胶
,
双氧水
,
光学性质
徐元杰
,
黄婉霞
,
施奇武
,
张阳
,
宋林伟
功能材料
以云母(001)为衬底,采用无机溶胶-凝胶法,通过加入表面活性剂十二烷基三甲基溴化铵(CTAB),在不同条件下制备了多孔VO2薄膜.采用SEM、FT-IR等手段分析了薄膜的表面形貌和热致相变性能.结果表明,膜的热处理工艺参数等对薄膜的表面形貌、颗粒尺寸及光学性能有重要影响,多孔VO2薄膜的形成与退火温度、保温时间及退火环境有关.
关键词:
VO2薄膜
,
多孔
,
CTAB
,
光学性能
,
形貌
张阳
,
黄婉霞
,
施奇武
,
宋林伟
,
徐元杰
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2013.12358
以单晶si (100)为基底,采用无机溶胶-凝胶法在其表面制备W-Mo复合离子掺杂VO2薄膜.采用SEM、XRD等手段分析了薄膜的表面形貌和晶体结构.在热驱动下,利用原位FTIR分析了W-Mo复合离子掺杂VO2薄膜半导体-金属相变性能.结果显示:单晶Si (100)表面VO2薄膜具有(011)择优生长取向,W6+、Mo6+取代了V4+在晶格中的位置,实现置换掺杂.热滞回线分析表明,与未掺杂VO2薄膜相比,V1-x-yMoxWyO2薄膜相变温度降低,滞后温宽减小,同时相变陡然性变差,相变温宽增大；在相变温度区间内,温度路径对红外透过率具有调制效果,其调制作用受原始热滞回线的制约.
关键词:
二氧化钒薄膜
,
红外光学性能
,
W-Mo复合掺杂
,
热调制
