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非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜

黑立富 , 徐俊波 , 陈良贤 , 李成明 , 吕反修

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2012.07.019

采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN /NbN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌.结果表明,在调制周期为19.86nm时,纳米压痕硬度达到43GPa.利用三点弯曲法形成裂纹的扩展,并观察到了裂纹的偏转特征.

关键词: 纳米多层膜 , 力学性能 , 调制周期

纯铝的锌系磷化工艺及机理

王恩生 , 杨波 , 徐俊波 , 王宇

材料保护

使用商品磷化液wes-01在工业喷淋线上实现了纯铝的锌系磷化,研究了磷化温度、游离酸度、总酸度及促进剂浓度对磷化膜性能的影响,并用扫描电镜、能谱及X射线衍射分析研究了磷化膜的形貌和结构,探讨了磷化反应机理.结果表明:磷化液wes-01在游离酸度0.4~1.3点,总酸度17.0~25.0点,促进剂2.0~4.0点,温度20~40℃使用时,可以获得性能良好的磷化膜;铝的磷化膜主要由枣核状结晶体Zn3(PO4)2·4H2O组成,含有细小的白色混合结晶体znAl2O4和AlPO4;磷化过程中先生成细小的白色结晶即ZnAl2O4,之后在其上迅速生成AlPO4结晶体,Zn3(PO4)2·4H2O结晶体则围绕ZnAl2O4和AlPO4的混合结晶周边生长,直至完成磷化.

关键词: 磷化 , 铝及铝合金 , 游离酸度 , 总酸度 , 促进剂 , 机理

化学气相沉积法制备纳微ZnO的实验和模拟研究进展

田会娟 , 郝斌 , 徐俊波 , 田亚峻 , 温浩

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.01.006

纳/微氧化锌材料性能优良,用途广泛,制备方法较多,其中化学气相沉积法(CVD)是较常用的方法之一.详细介绍了CVD方法制备纳米氧化锌的主要影响因素,概述了计算流体动力学(CFD)模拟在化学气相沉积法方面的应用和研究现状,并指出应该采用实验研究和计算模拟相结合的方法进行研究,利用计算模拟指导实验,从而实现纳微结构的可控生长.

关键词: 纳微结构氧化锌 , 化学气相沉积 , 局部气氛 , 数值模拟

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