周春
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徐锋
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徐俊华
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卢文壮
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左敦稳
人工晶体学报
本文根据制备双面电极所要的温度场流场需求,设计了一个悬挂式的沉积平台,以满足工业级金刚石电极的制备需要.利用B2H6气体掺杂的方法制备不同掺杂浓度的金刚石电极,用SEM、Raman、四探针电阻仪对掺杂金刚石膜进行了分析,同时对制成的电极做了电化学性能的测试.结果表明,在设计的平台上可以制备出高质量的金刚石薄膜,B掺杂对金刚石膜的成分结构影响比较大,随着掺杂浓度的提高,晶粒细化明显,掺杂浓度过高薄膜质量下降.电化学性能的检测表明,气体掺杂的效率比较明显,在2000 ～4000 ppm较低浓度下,电极已经表现出良好的电化学性能.
关键词:
双面金刚石
,
气体掺杂
,
电化学窗口
唐晓龙
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徐锋
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徐俊华
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叶鹏
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吴海兵
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左敦稳
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.03.033
金刚石刀具涂层在碳纤维复合材料等难加工材料高效加工方面有着广阔的应用前景.在热丝化学气相沉积系统通过气体掺硼,在硬质合金表面制备了掺硼金刚石涂层.通过SEM、Raman以及压痕测试对涂层的表面形貌、成分和膜基结合性能进行了测试和分析;对涂层进行了摩擦磨损实验,研究了涂层不同环境温度下的摩擦系数及磨损率.结果表明,适量的硼掺杂可以细化金刚石晶粒,提高膜基结合力,降低摩擦系数并提高耐磨性,掺硼金刚石磨损率随温度的升高而增大,本文合适的掺硼浓度为3×10-3.
关键词:
掺硼金刚石
,
硬质合金
,
结合力
,
摩擦磨损
