王贺
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魏长平
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彭春佳
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李丛昱
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程果
硅酸盐通报
采用溶胶-凝胶结合旋转涂膜法在玻璃基底上制备SiO2薄膜,研究了陈化时间和旋涂速度对SiO2膜增透性能的影响,利用热分析仪、X射线衍射仪、红外光谱仪、扫描电镜、分光光度计、椭偏仪等方法分别对干凝胶的热分解过程、晶体结构、微观形貌、透过率和折射率进行表征.结果表明:膜层透过率与制备条件有一定的规律,随着陈化时间的延长和旋涂速度的增加,增透峰中心波长发生了移动.在最佳工艺条件下,制备的SiO2薄膜具有较好的增透性能,在玻璃上镀SiO2增透膜后,峰值透过率(300～1000 nm)由90％提高到95％,其膜厚为315 nm,折射率为1.352,孔隙率为27％,进一步提高了可见光利用率.
关键词:
溶胶-凝胶
,
SiO2
,
多孔
,
增透膜
王贺
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魏长平
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彭春佳
,
程果
,
李丛昱
硅酸盐通报
采用溶胶-凝胶结合旋涂技术在玻璃基底上制备了SnO2∶Sb/SiO2复合薄膜,利用XRD、FT-IR、SEM、椭偏仪、分光光度计等方法对薄膜样品进行了系统地表征.结果表明:经过热处理后样品生成了SnO2∶Sb和SiO2∶薄膜具有双层结构,上层SiO2厚度约105nm,折射率为1.352,底层SnO2∶Sb厚度约1200 nm,折射率为1.91；优化工艺条件下SnO2∶ Sb/SiO2复合薄膜的性能优于SnO2∶ Sb薄膜,在相同情况下SnO2∶ Sb/SiO2复合薄膜对可见光的透过率大于SnO2∶Sb薄膜,这是因为上层SiO2薄膜折射率较低,与底层高折射率SnO2∶ Sb薄膜共同构成减反射膜系,提高了膜系的可见光透过率.相比于单层SnO2∶ Sb膜,在可见光部分增透率大于4.5％,近红外波段的增透率小于1.0％,基本保持原有导电膜的低红外辐射特性,并提高了可见光透过率.
关键词:
溶胶-凝胶
,
SnO2∶Sb
,
SiO2
,
复合薄膜
,
透过率
