朱军
,
刘景全
,
张金娅
,
陈迪
,
石磊
高分子材料科学与工程
环氧基紫外负性光刘胶(SU-8)是一种近几年发展起来的新型的光刘胶材料.它是一种双酚A酚醛缩水甘油醚环氧树脂溶解于GBL(y-Butyrolactone)而形成的高分子有机聚合物胶体.SU-8胶作为一种光刘材料,由于其独特的光学性能,力学性能和化学性能等,在MEMS(Micro-electro-mechanic-system)研究领域正受到了越来越多的关注,目前已被广泛的应用于MEMS器件的制备中.本文介绍了它的结构性能以及发展前景并报道了我们在其加工工艺上的研究进展.
关键词:
环氧基紫外负性光刻胶
,
光刻
,
MEMS
,
微线圈
,
微弹簧
张金娅
,
陈迪
,
朱军
,
李建华
,
方华斌
,
杨斌
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.027
采用新型SU-8光刻胶在UV-LIGA技术基础上制备了各种高深宽比MEMS微结构,研究了热处理和曝光两个重要因素对高深宽比微结构的影响,解决了微结构的开裂和倒塌等问题;优化了SU-8胶工艺,从而获得了最大深宽比为27:1的微结构.
关键词:
UV-LIGA技术
,
SU-8胶
,
高深宽比微结构
