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张辛玥 , 杨金龙 , 黄勇
稀有金属材料与工程
使用三维体视显微镜拍摄微珠投影照片,应用图像处理工具修正后得到两值矩阵图片,再应用基于最小二乘圆为背景的圆度测试软件得出圆度误差.目前软件的使用相对还比较复杂,需要经过多步才能得到圆度.
关键词: 圆度测试 , 非接触
通过对氧化铝、莫来石陶瓷微珠进行抛光研究.研究了不同抛光条件,水基、油基等不同基体,不同磨料对于微珠抛光效果的影响.证实氧化铈对微珠抛光有良好效果,并尝试从微观角度分析原因.
关键词: 陶瓷微珠 , 抛光 , CMP
