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直流反应磁控溅射制备a-C:H薄膜及其表面粗糙度研究

张艳茹 , 杭凌侠 , 郭峰 , 宁晓阳

表面技术

为研究含氢类金刚石(a-C:H)薄膜的制备及性能,充入含-CH3原子团的CH4气体,在不同CH4/Ar流量比条件下于N型硅基底上沉积a-C:H薄膜,并借助椭偏仪、非接触式白光干涉仪及激光波面干涉仪对薄膜的沉积速率及表面粗糙度进行测定.结果表明,含氢碳源气体的加入提高了类金刚石薄膜的沉积速率,改善了表面平整度.

关键词: 直流反应磁控溅射 , 含氢类金刚石薄膜 , 沉积速率 , 表面粗糙度

席夫碱在隐身材料中的应用前景

张艳茹 , 王智勇

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.z1.080

席夫碱及其盐类是一类新型功能材料,已在众多领域得到广泛应用.本文主要介绍了席夫碱的合成和性能及其在吸波材料和红外隐身材料中的研究现状与发展前景.

关键词: 席夫碱 , 吸波材料 , 红外隐身材料

离子选择性电极测定磁性材料中微量氟

张艳茹 , 杨春晟 , 贾进铎

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2002.12.005

利用离子选择电极建立了一种氟的分析测定方法,应用氟离子选择电极对合金中的氟进行实验,并对样品及合成试样进行测定,该方法测量范围宽、简便、快速、准确,获得了令人满意的结果.

关键词: 离子选择电极 , 磁性材料 ,

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