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反应溅射制备AlN薄膜中沉积速率的研究

许小红 , 武海顺 , 张富强 , 张聪杰 , 李佐宜

稀有金属材料与工程

通过对溅射过程中辉光放电现象及薄膜沉积速率的研究,发现随着氮浓度的增大,靶面上形成一层不稳定的AlN层,由于AlN的溅射速率远小于Al,从而使薄膜的沉积速率显著下降.同时还研究了其它溅射参数对薄膜沉积速率的影响.结果表明:随靶基距的增大和靶功率的减小,不同程度引起沉积速率的下降;随着溅射气压的增大,最初沉积速率不断增大,当溅射气压增大到一定程度时,沉积速率达到最大值,之后随溅射气压的增大,又不断减小.

关键词: 反应溅射 , 氮化铝薄膜 , 沉积速率

AlN薄膜取向程度与实验参数间的函数关系

许小红 , 张富强 , 武海顺 , 张聪杰 , 李佐宜

无机材料学报

反应溅射制备ＡｌＮ 薄膜时，薄膜的择优取向与众多的实验参数有关．建立晶面择优取向程度与溅射气压、靶基距、靶功率等重要实验参数之间的函数关系，避免了研究每一项参数对薄膜择优取向影响所需的实验次数的繁多，得到制备择优取向程度最佳薄膜的实验参数．同时，通过用该函数关系式计算得到结果与实验结果比较，发现两者具有很好的一致性．这一系列函数关系式的建立，对进一步设计新的实验方案、验证已有的实验结果以及制备良好择优取向薄膜都有着重要意义．

关键词: 氮化铝薄膜 , experimental parameters , preferential orientation , function relation

AlN薄膜取向程度与实验参数间的函数关系

许小红 , 张富强 , 武海顺 , 张聪杰 , 李佐宜

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.06.021

反应溅射制备AlN薄膜时,薄膜的择优取向与众多的实验参数有关.建立晶面择优取向程度与溅射气压、靶基距、靶功率等重要实验参数之间的函数关系,避免了研究每一项参数对薄膜择优取向影响所需的实验次数的繁多,得到制备择优取向程度最佳薄膜的实验参数.同时,通过用该函数关系式计算得到结果与实验结果比较,发现两者具有很好的一致性.这一系列函数关系式的建立,对进一步设计新的实验方案、验证已有的实验结果以及制备良好择优取向薄膜都有着重要意义.

关键词: 氮化铝薄膜 , 实验参数 , 择优取向 , 函数关系

磁控溅射制备择优取向氮化铝薄膜

许小红 , 武海顺 , 张聪杰 , 金志浩

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2000.04.016

关键词: AlN薄膜 , 制备 , 磁控反应溅射 , 晶面取向 , X射线衍射

氮化铝薄膜的组成分析

许小红 , 武海顺 , 张富强 , 张聪杰 , 金志浩

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2001.03.017

关键词: 氮化铝薄膜 , 组成 , X射线光电子能谱