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In-As-Sb-C-H五元系热力学分析与In(As,Sb) MOVPE工艺设计

李静波 , 张维敬 , 李长荣 , 杜振民

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.03.014

本文模拟MOVPE工艺设定热力学条件, 建立了涉及5个相和54个气相物种的In-As-Sb-C-H五元系热力学系统. 采用先进的热力学计算方法, 对该系统进行了热力学分析. 计算结果与实验结果比较发现, 热力学计算能较好地预测系统相关系及半导体相成分.

关键词: 热力学分析 , MOVPE , In , As , Sb , C , H

(Ga,In)As半导体MOVPE生长过程中源物质的热分解及半导体碳污染的分析

李长荣 , 王冈 , 李静波 , 张维敬

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1999.03.012

运用相平衡分析的方法,对(Ga,In)As半导体MOVPE生长过程中源物质热分解后的气相物种分压进行了分析,得到了沉积物种的生成率随各生长参数的变化规律,同时对气相物种分压与半导体碳污染的关系也进行了分析.

关键词: (Ga,In)As半导体 , 相平衡 , 热分解 , 碳污染

相图计算技术在复相陶瓷燃烧合成热力学分析中的应用

刘永合 , 殷声 , 张维敬 , 赖和怡

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2000.01.009

应用相图计算技术(CALPHAD)对燃烧合成复相陶瓷的绝热燃烧温度,平衡相组成等进行了热力学分析.讨论了铝热型自蔓延高温合成反应中副产物相的成因及可能的消除途径.根据稀释剂对绝热温度的影响方式提出了稀释作用的两种模式.对反应热压中采用的硼、碳和Al2O3体系的绝热温度进行了计算,并对其放热能力进行了评价.

关键词: 相图计算技术 , 燃烧合成 , 复相陶瓷 , 绝热燃烧温度

高温高压下人造金刚石过程的热力学分析——相平衡信息及其应用

李长荣 , 杜振民 , 徐骏 , 李静波 , 苏旭平 , 张维敬

人工晶体学报

借助Fe-C二元系在5.7 GPa高压下等压相图提供的有关相平衡信息,以及石墨相Gra.和液相Liq.之间的介稳平衡信息,主要对以Fe作溶剂,以石墨为碳源,在高温高压下获得人造金刚石的主要工艺进行了热力学分析.分析结果显示:在Dia.+Liq.两相平衡区里引入石墨相,则引发Gra.→Dia.+Liq.析液反应过冷转变.这种转变是以三相定态反应链模式实现的.这种模式可以是等温的,亦可以呈一定温度梯度,分别对现行的一次性形核长大工艺和温度梯度法由籽晶/籽晶群同质外延工艺进行热力学分析和评述,并给出转变的指向和限度.分析结果还表明:在三相定态反应链模式下,人们通常所谓的包裹物都是液相卸压降温后的转变产物.本文的分析方法也适用于Fe-C体系、Ni-C体系和Fe: Ni成分比约为5:5~7:3范围内的Fe-Ni-C体系.

关键词: 金刚石 , 相平衡 , 高温高压 , 三相定态反应链 , Fe-Ni-C体系

NH3分解率对GaN半导体MOVPE外延生长成分空间的影响

李长荣 , 卢琳 , 杜振民 , 张维敬

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2002.04.001

研究了以三甲基镓(TMGa)和氨(NH3)为气源物质,以氢气(H2)为载气进行GaN半导体的金属有机物气相外延(MOVPE)生长时,NH3分解率对于GaN半导体外延生长的成分空间的影响.热力学计算结果表明:随着NH3分解率的提高,用于生长GaN外延层的气+固两相区逐渐向高Ⅴ/Ⅲ比方向变小,解释了实际生长过程中Ⅴ/Ⅲ比要求很高的原因.预计高的Ⅴ/Ⅲ比及低的NH3分解率有助于GaN的MOVPE外延生长.

关键词: 热力学分析 , 氮化镓 , MOVPE

Ag-Ti二元系在980,1100和1200℃下的相平衡测量

傅晓亮 , 李长荣 , 李梅 , 张维敬

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.07.004

使用纯Ti粉和纯Ag块压制紧密接触的Ag-Ti二元扩散偶,在980,1100和1200℃下分别进行退火处理.通过金相观察和电子探针微区分析,对退火处理后的试样进行相分析和成分测定,从而获得了相应温度下的Ag-Ti二元体系的相平衡关系和共轭平衡成分.特别是针对液相、β(Ti)相和(TiAg)中间相,将实验所得的结果与文献报道的评估数据进行了比较.

关键词: Ag-Ti二元系 , 相平衡 , 扩散偶

奥氏体不锈钢敏化动力学过程模拟

李长荣 , 张维敬 , 张文奇

中国腐蚀与防护学报

奥氏体不锈钢的敏化过程实质上是过饱和奥氏体沿晶界析出碳合化物(Fe、Cr)(23)_Co、同时溶质Cr、Ni和C在基体中重新分布的过程。本文作者对此进行了计算机模拟。模拟中认为;碳化物的析出过程受代位溶质的扩散控制,碳化物和奥氏体的界面达到动态的热力学平衡。在动态提供Fc-Cr-Ni-C多元系相平衡信息的条件下,确定扩散过程的边值;求解溶质在基体中的分布曲线;进而可以预测不锈钢的温度-时间-敏化(TTS)曲线.这一模型在奥氏体不锈钢中进行了具体应用和分析讨论,为不锈钢晶间腐蚀的贫铬理论提供了定量的理论依据。

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