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绒面ZnO/Si异质结太阳能电池的初步研究

张籍权 , 张伏生 , 刘爱民 , 刘维峰

人工晶体学报

以p型单晶硅<100>作为衬底材料,通过化学腐蚀法得到硅绒面表面结构,采用喷雾热解法沉积掺Al的ZnO薄膜于绒面硅上,结合微电子光刻、磁控溅射和真空蒸镀等工艺制作上、下表面电极,于400 ℃氮气氛围下快速退火合金,得到Ag/Ti/n-ZnO/p-Si/Al异质结太阳能电池.对电池样品进行...

关键词: 太阳能电池 , 喷雾热解 , 氧化锌 , 绒面硅