刘喜波
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陈派明
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杨硕
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王政红
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张秀勤
材料导报
对两种不同比表面积(BET)的锢锡氧化物(ITO)纳米粉末进行退火处理,研究和比较了温度对两种粉末微观组织和结构的影响,并对这两种粉末烧结的靶材进行了比较.结果表明,在800~1500℃进行不同温度的退火处理后,在1200℃以上,两种比表面积的ITO粉末粒径增长显著,颗粒之间出现了相互合并和结合长大现象,而高BET粉末的粒径增加幅度比低BET粉末的更大;在1525℃烧结后,用高BET粉末烧成的靶材的晶粒和气孔尺寸更大,气孔数量也更多.
关键词:
铟锡氧化物(ITO)
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纳米粉末
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退火
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烧结
张秀勤
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王政红
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薛建强
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2012.02.010
采用机械混粉、造粒、模压和冷等静压(CIP)成型相结合的功能陶瓷制备工艺制备了AZO靶材,研究了空气、真空及惰性气氛对AZO靶材性能的影响.结果发现,氩气保护烧结法制备的AZO靶材不仅密度高,电阻率达10-4Ω·cm量级,而且该方法还可明显抑制氧化锌的挥发,降低烧结温度,在1320℃的温度下便可制得相对密度为99%、晶粒度在4μm左右的靶材.
关键词:
AZO靶材
,
AZO薄膜
,
冷等静压
,
惰性气体