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Al65Cu20Fe15合金的凝固组织及二十面体准晶的生成

张瑞康 , 刘静 , 王建波 , 汪大海 , 陈方玉 , 陈小梅 , 桂嘉年 , 王仁卉

金属学报

用Ｘ射线能谱分析、电子背散射衍射和粉末Ｘ射线衍射等技术研究了Ａｌ６５Ｃｕ２０Ｆｅ１５合金的铸锭及其退火后的显微组织和相组成. 发现铸锭中的初生晶是λ－（Ａｌ, Ｃｕ）１３Ｆｅ４, 呈明显的枝晶结构.

关键词: 凝固组织 , null , null , null

InP/InGaAsP异质结ICP刻蚀表面损伤

董雷 , 张瑞康 , 江山 , 赵圣之 , 刘水华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.03.009

本文详细研究了采用Cl2/H2刻蚀气体时,ICP刻蚀系统对InP/InGaAsP材料表面损伤的影响.通过设计特殊结构的InP/InGaAsP多量子阱结构,测量刻蚀区域及非刻蚀区域的光荧光强度的变化,并结合高斯深度分布模型对刻蚀损伤进行定量研究.详细研究ICP刻蚀系统中的压强、ICP功率、RF功率以及Cl1/H2刻蚀气体组分对损伤程度的影响.基于这些结果优化得到一组低损伤参数,最终实现刻蚀损伤深度小于16nm.

关键词: 等离子体刻蚀 , 干法刻蚀损伤 , 感应耦合等离子体 , 光荧光

感应耦合等离子刻蚀InP工艺

陈磊 , 张靖 , 张瑞康 , 江山

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.03.016

采用Cl2/CH4/N2感应耦合等离子体对InP进行了刻蚀.系统地讨论了RF功率、ICP功率、反应腔压力、气体流量等工艺参数对InP材料端面刻蚀的影响.通过优化工艺参数,获得了光滑垂直的InP刻蚀端面,刻蚀速率达到841 nm/min,与SiO2的选择比达到15:1.

关键词: 干法刻蚀 , 感应耦合等离子体 , InP , 刻蚀端面

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