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余桉 , 杨传仁 , 张继华 , 陈宏伟 , 王波 , 张瑞婷
材料导报
铁电薄膜移相器响应速度快、成本低、功耗和体积小,是一种模拟移相器,非常适合应用于相控阵天线特别是共形阵天线.介绍了4种主要的铁电薄膜移相器的结构、原理、性能和特点,指出分布型和全通网络型铁电薄膜移相器具有良好的发展前景,并进一步总结了国内外研究现状和存在的问题,提出了今后的研究方向.
关键词: 移相器 , 铁电薄膜 , 相控阵天线 , BST可变电容 , BST薄膜
王波 , 杨传仁 , 陈宏伟 , 张继华 , 余桉 , 张瑞婷
绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2007.04.007
综述了目前钛酸锶钡(BST)铁电薄膜最为常用的4种制备工艺:磁控溅射法(Magnetron Sputtering)、脉冲激光沉积法(PLD)、溶胶-凝胶法(Sol-gel)、金属有机物化学气相沉积法(MOCVD).并介绍了在优化BST铁电薄膜性能方面所作的工作和取得的成果.
关键词: 钛酸锶钡(BST) , 铁电薄膜 , 制备工艺 , 性能优化
