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沉积不连续NiTi形状记忆合金薄膜PZT的阻尼性能

张玉姣 , 刘庆锁 , 陆翠敏 , 李伟 , 卢明超

机械工程材料

在铁电陶瓷锆钛酸铅(PZT)表面沉积不连续的NiTi形状记忆合金(SMA)薄膜,运用XRD、SEM和动态弹性模量测试仪研究了其显微组织及阻尼特性。结果表明:与PZT相比,NiTi SMA薄膜/PZT复合材料的阻尼性能下降;原因是PZT基体与NiTi SMA薄膜在晶化冷却时的收缩不一致导致在PZT基体中靠近薄膜的区域形成了组织异常区,限制了电偶极子的运动,在外界应力作用下薄膜与基体两者的应变不协调加强了异常区对电偶极子运动的限制。

关键词: 锆钛酸铅(PZT) , NiTi , 形状记忆合金 , 显微组织 , 阻尼

PZT基体沉积条形分布NiTi SMA薄膜复合材料的介电性能

张玉姣 , 刘庆锁 , 卢明超

材料导报

使用模具并采用磁控溅射法在铁电陶瓷PZT基体上沉积具有条形分布结构的NiTi SMA薄膜.显微组织结构观察发现,以条形分布结构方式沉积的NiTi SMA薄膜晶化处理后具有等轴晶结构.比较所制备PZT/NiTi SMA薄膜复合材料与纯PZT的介电常数及介电损耗发现,两者的介电损耗水平接近;复合材料的介电常数比纯PZT的提高约18%.NiTi SMA的沉积使基体中靠近薄膜区域的Zr/Ti物质的量比恰好落在准同型相界区内,致使所制备复合材料的介电性能优于纯PZT.

关键词: NiTi , SMA薄膜 , 沉积方式 , 等轴晶 , 介电性能

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