欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(3)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

PECVD法生长晶化硅薄膜的机理

白晓宇 , 郭群超 , 柳琴 , 庞宏杰 , 张滢清 , 李红波

材料科学与工程学报

硅薄膜在太阳电池中有非常重要的应用,薄膜的晶化对硅薄膜的性质和太阳电池效率都有很大影响,研究薄膜晶化理论具有重要意义.选择刻蚀模型认为H原子会轰击薄膜生长表面,打断吸附较弱的化学键,促使形成强的Si-Si键,使薄膜发生晶化.通过Monte Carlo法对具体的生长晶化过程进行了模拟计算,发现薄膜晶相的转变发生在生长温度350K(77℃)以上,并且在低温(T<550K)下,晶化的过程主要发生在氢稀释度90%以上.结果与实验数据在高氢稀释下基本吻合,低氢稀释下有偏差.认为低氢稀释下晶化反应所需中间产物产量少,模型中未被考虑的其他基团影响了它们的相对数量,造成模拟结果的偏差.模型对硅薄膜晶化过程的理论解释有一定的合理性.

关键词: 硅薄膜 , 晶化 , 选择刻蚀模型

推扫成像中针对细分采样累加的反降晰算法

张滢清 , 王建宇

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2008.05.017

为了降低细分采样累加方式对线列推扫成像清晰度的影响,利用孔径函数的变换,提出了相应的反降晰方法,实现了同一个位置上的像元累加,使得推扫方向上的孔径函数和线列方向等同,消除了累加过程中像元位移的影响.在细分采样累加倍数为4的情况下,Nyquist频率处的传递函数值提高7%.通过对反降晰算法的仿真采样验证,结果表明本算法完全可以达到预定要求,算法简单,只需少量加法器,在目前的成像仪电路中稍微修改可编程芯片即可投入工程应用.

关键词: 遥感 , 反降晰 , 孔径函数 , 线列推扫

细分采样叠加技术在推扫式长波红外成像中的应用

张滢清 , 王建宇 , 傅雨田

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2006.02.027

在推扫式长波红外成像系统中,由于强辐射背景的存在,探测器的饱和积分时间只占像元驻留时间的十分之一甚至几十分之一,针对这种情况,将细分采样叠加技术应用在该类成像系统中,可以有效地利用推扫成像方式相对于机械扫描成像方式在驻留时间上的优势,达到提高系统信噪比的目的.文中首先针对短积分时间长波红外探测器的特点阐述了细分采样叠加技术原理,从理论上分析了叠加对PTF和图像信噪比SNR的影响.接着简要叙述了基于细分采样叠加技术的长波红外成像系统的软硬件研制情况,最后通过成像实验,验证了系统所采用的各种方法的有效性.

关键词: 光电子学 , 长波 , 红外 , 细分采样 , 叠加 , PTF

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词