霍骥川
,
刘保亭
,
邢金柱
,
周阳
,
李晓红
,
李丽
,
张湘义
,
王凤青
,
王侠
,
彭英才
功能材料
以非晶Ni-Al薄膜作为Cu互连的阻挡层材料,采用射频磁控溅射法构架了Cu/Ni-Al/Si的异质结.利用原子力显微镜、X射线衍射仪和四探针测试仪研究了不同温度下高真空退火样品的表面形貌、微观结构与输运性质.实验发现非晶Ni-Al薄膜在高达750℃的退火温度仍能保持非晶结构,各膜层之间没有明显的反应和互扩散存在,表明了非晶Ni-Al薄膜具有良好的阻挡效果,可以用作Cu互连的阻挡层材料.
关键词:
Cu互连
,
Ni-Al
,
扩散阻挡层
刘建华
,
张朋越
,
杨丽
,
谌岩
,
关颖
,
张克勤
,
张静武
,
张湘义
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.018
用差热分析(DTA),结合X射线衍射(XRD)研究了非晶Pr8Fe86B6合金的晶化动力学.结果表明:该非晶Pr8Fe86B6合金的晶化相为α-Fe固溶体、Pr2Fe23B3和Pr2Fe14B金属间化合物,通过对三相晶化激活能的分析得出:α-Fe相的激活能在晶化初期变化不大,当其体积分数大于8%时,其晶化激活能开始减小;而Pr2Fe23B3和Pr2Fe14B相的激活能随其体积分数的增加而减小,且α-Fe相较Pr2Fe23B3和Pr2Fe14B相容易晶化析出.
关键词:
非晶Pr8Fe86B6合金
,
晶化相
,
晶化动力学
,
晶化激活能
刘建华
,
张朋越
,
谌岩
,
杨丽
,
关颍
,
张克勤
,
张静武
,
张湘义
功能材料
研究了预退火对Sm5Fe74.3Nb1.5Si11.7B4.5C 5 Cu0. 5非晶合金晶化动力学的影响.结果表明,预退火处理使非晶合金晶化相α-Fe和Sm2Fe17Cx的晶化温度(Tp)和晶化表观激活能(Ec)值降低,且改变晶化相a-Fe在晶化过程中晶化激活能的变化趋势,有助于该合金在晶化退火中形成晶粒尺寸较小的α-Fe相.
关键词:
Sm5Fe74.3Nb1.5Si11.7B4.5C2.5Cuo.5非晶合金
,
预退火
,
晶化激活能
邢金柱
,
刘保亭
,
霍骥川
,
周阳
,
李晓红
,
李丽
,
张湘义
,
彭英才
,
王侠
机械工程材料
采用射频磁控溅射法在Si(100)基片上首先沉积了厚度40 nm的非晶钛-铝薄膜,然后在其上又原位生长了厚度100 nm的铜薄膜,制备了铜膜/钛-铝膜/硅试样;对试样分别在400～800℃内进行真空退火处理,用原子力显微镜、X射线衍射仪、四探针测试仪对试样的表面形貌、结晶状态及方块电阻进行了分析.结果表明:当退火温度低于750℃时,试样表面平整,表面粗糙度和方块电阻均较小且基本不随退火温度的升高而改变,此时,非晶钛-铝薄膜能够起到阻挡铜向硅中扩散的作用;当退火温度在800℃时,试样的表面粗糙度和方块电阻急剧增大,此时,非晶钛-铝薄膜已经不能起到阻挡层的作用.
关键词:
铜互连
,
阻挡层
,
钛-铝薄膜
,
射频磁控溅射
刘建华
,
张朋越
,
谌岩
,
杨丽
,
关颍
,
张克勤
,
张静武
,
张湘义
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.018
研究了非晶Sm5Fe74.3Nb1.5Si11.7B4.5C2.5Cu0.5合金经400℃,保温10min预退火后的晶化动力学.结果表明:该合金的晶化相为α-Fe固溶体和Sm2Fe17Cx金属间化合物,两相的晶化表观激活能分别为557kJ/mol和514kJ/mol.当晶化体积分数为60%时,α-Fe相的晶化激活能达极大值;Sm2Fe17Cx相晶化激活能则随其晶化体积分数的增加而逐渐减小.
关键词:
非晶Sm5Fe74.3Nb1.5Si11.7B4.5C2.5Cu0.5合金
,
预退火
,
晶化动力学
刘建华
,
张朋越
,
杨丽
,
谌岩
,
关颍
,
张克勤
,
张静武
,
张湘义
功能材料
从非晶合金晶化激活能的角度,分析了Pr-Fe-B非晶合金在退火过程中晶粒粗大的原因,揭示了Zr元素在其晶化过程中的作用.结果表明,Zr能改变Pr-Fe-B非晶合金中α-Fe相的晶化行为,有助于形成尺寸细小的α-Fe相.
关键词:
Pr-Fe-B非晶合金
,
Zr
,
晶化行为
,
纳米晶
李伟
,
杨丽
,
关颖
,
谌岩
,
张克勤
,
张静武
,
张湘义
功能材料
采用X射线衍射分析、透射电子显微分析技术及振动样品磁强计研究了Nd3.6Pr5.4Fe83Co3B5合金熔体在不同淬速下α-Fe/Nd2Fe14B复合纳米晶结构的形成和磁性.结果表明,在淬速低于20m/s时随着淬速的升高Nd2Fe14B和α-Fe纳米晶的尺寸变得均匀、细小,α-Fe相的体积分数增加.当辊速由10m/s增加到20m/s时,Nd2Fe14B和α-Fe相的晶粒尺寸分别由51.2nm和30.2nm减小到13.4nm和16.3nm,α-Fe相的体积由31.9%增至48.6%,并在20m/s时获得了193.6kJ/m3的最大磁能积.
关键词:
复合纳米晶永磁合金
,
纳米晶结构
,
快淬速度
张朋越
,
张静武
,
刘建华
,
杨丽
,
张克勤
,
关颖
,
张湘义
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.021
用 XRS法测定 Sm5Fe74.3Nb1.5Si11.7B4.5C2.3Cu0.5非晶合金在相同时间不同温度和在相同温度不同时间预退火条件下的短程有序范围、最近邻原子间距结构参数 , 从而讨论预退火对非晶结构的影响 . 结果表明 ,非晶合金由原始态加热到 400oC范围内预退火 ,非晶短程有序范围会随温度升高而增大 ,到 400oC时达最大值 . 随温度继续升高 ,超过 400oC时 ,短程有序范围开始减小 ,而最近邻原子间距增大 . 在同一温度 500oC不同预退火时间 ,短程有序范围随时间的延长而增大 ,最近邻原子间距随时间的增加而减小 .
关键词:
Sm5Fe74.3Nb1.5Si11.7B4.5C2.3Cu0.5非晶合金
,
最近邻原子间距
,
短程有序范围
杨丽
,
关颖
,
张朋越
,
刘建华
,
张克勤
,
张静武
,
张湘义
物理测试
doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2001.04.004
用差热分析(DTA),结合X射线衍射(XRD)研究了Nd-Dy-Fe-Co-B非晶合金的晶化动力学.结果表明,温度低于800℃不同升温速率的升温过程中,合金Nd7.5Dy1.5Fe70Co16B5中先后出现三个晶化相:软磁相α-Fe相、亚稳相Nd2Fe23B3和硬磁相Nd2Fe14Bo三个晶化相的晶化激活能随晶化份数的增加而降低.α-F相的表观激活能为98.09kJ/mol,Nd2Fe23B3和Nd2Fe14B的分别为131.79kJ/mol和129.20kJ/mol.Nd2Fe14B和α-Fe相的晶化行为表明Nd7.5Dy1.5Fe70Co16B5合金退火时容易形成晶粒粗大的Nd2Fe14B/α-Fe微结构的原因,是Nd2Fe14B和α-Fe相都容易长大造成的.
关键词:
Nd-Dy-Fe-Co-B非晶合金
,
晶化动力学
,
晶化阶段激活能
,
晶化表观激活能
李晓红
,
关颖
,
李伟
,
张静武
,
张湘义
功能材料
采用X射线衍射分析(XRD)技术,研究了NdprFeCoB熔体快淬所制备的α-Fee/Nd2Fe14B纳米晶的织构形成过程.结果表明,Nd2Fe14B纳米晶具有较强的(001)织构,而α-Fe纳米晶具有(110)织构,这些织构垂直于薄带表面,且从自由面到激冷面逐渐减弱.从自由面到激冷面,Nd2Fe14B相在(001)晶面法线方向的尺寸和α-Fe相在(220)晶面法线方向的尺寸逐渐减小.在激冷面各晶面法线方向的尺寸相近,表明纳米晶的形状近似于等轴晶.α-Fe/Nd2Fei4B纳米晶织构的形成和生长受合金薄带在凝固过程中热流梯度的控制.
关键词:
复合纳米永磁体
,
晶体织构
,
控制
,
凝固
