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激光微加工纳米孔Al2O3陶瓷膜的方法及分析

施云波 , 郭建英 , 张洪泉 , 时强

稀有金属材料与工程

针对超薄型Al2O3易碎加工难的问题,提出激光微加工的方法.阐述了激光微加工的原理.通过声光调节激光器的品质因子Q值获取激光巨脉冲.论述了纳米孔Al2O3膜的电化学定向生长及其微加工过程,扫描电镜揭示了纳米孔Al2O3膜易碎易断的内在原因,加工区域略有灼烧现象.分析了激光输出脉冲频率和电流对陶瓷膜的...

关键词: 激光微加工 , 纳米孔陶瓷膜 , 声光调Q频率