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玻璃上低温沉积碳纳米管薄膜及其场发射研究

高金海 , 李桢 , 张武勤 , 张兵临

功能材料与器件学报

本文从事的研究是碳纳米管(CNT)薄膜的制备及场发射效果分析.在普通玻璃衬底上用磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的碳化硅微粒对钛层进行抛光.利用微波等离子体化学气相沉积法,在小于500℃衬底温度下快速制备出CNT膜.通过扫描电子显微镜、拉曼光谱,分析了薄膜的表面形貌和结构特性.通过二级管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,对于制备的碳膜,在电场?时,最大场发射电流密度达?.并对其发射机理进行了研究.

关键词: 微波等离子体化学气相沉积 , 碳纳米管 , 场致电子发射

液晶面板PI层电荷累积和释放过程分析

张武勤

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2010.03.011

液晶显示器的聚酰亚胺配向层(Polyimide,PI)电荷累积过程属于凝聚态物理的电介质理论范畴,由于电介质物理理论还不够完整,造成液晶显示器PI层电荷累积和释放过程机理不甚清晰.文章应用麦克斯韦方程组分析液晶PI层表面电荷累积过程,应用可将快慢效应分开的时域谱学理论分析慢电荷的释放过程,得出液晶面板PI层和液晶层接触面电荷累积与两者的介电常数和电导率的关系,以及累积慢电荷的释放时间常数与PI层厚度的关系.

关键词: 电荷极化 , 快电荷 , 慢电荷

过渡层对类球状微米金刚石聚晶的场发射影响

张武勤 , 高金海

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2010.04.012

在陶瓷衬底上通过磁控溅射方法镀上金属Ti层后,改用CH4为溅射气体制备一层碳化物过渡层,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶薄膜.利用扫描电子显微镜、拉曼光谱和x-射线衍射分析了薄膜的结构和表面形貌.测试了类球状微米金刚石聚晶膜的场致电子发射特性,有过渡层制备的类球状微米金刚石聚晶膜的场发射开启电场仅为0.9 V/μm,在2.5 V/μm的发射电场下电流密度是10.8 mA/cm2,而无过渡层制备的类球状微米金刚石聚晶膜的开启电场为1.27 V/μm,在2.5V/μm的发射电场下电流密度是0.5 mA/cm2.实验结果表明,有碳化物过渡层的类球状微米金刚石聚晶薄膜的场发射特性效果更好.

关键词: 微波等离子体化学气相沉积 , 场致电子发射 , 类球状微米金刚石聚晶

球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究

高金海 , 张武勤 , 李桢 , 张兵临

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163109.0877

在纯平的陶瓷衬底上面,利用磁控溅射方法镀上一层金属钛。对金属钛层进行表面缺陷处理后,放入微波等离子体化学气相沉积腔中,利用正交实验方法制备出场发射性能最优的薄膜,通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等仪器,研究了薄膜的微观表面形态、结构组成等,得到了该薄膜是球状微米金刚石薄膜的结论。并进一步研究了最优场发射薄膜的发射机理。

关键词: 球状微米金刚石薄膜 , 场致电子发射 , 微波等离子体化学气相沉积

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