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采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积Al2O3介质薄膜研究

张有为 , 万里 , 程新红 , 王中健 , 夏超 , 曹铎 , 贾婷婷 , 俞跃辉

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.11663

采用水基原子层沉积(H2O-based ALD)方法在石墨烯上直接生长Al2O3介质薄膜, 研究了Al2O3成核机理. 原子力显微镜(AFM)对Al2O3薄膜微观形态分析表明, 沉积温度决定着Al2O3在石墨烯表面的成核生长情况, 物理吸附在石墨烯表面的水分子是Al2O3成核的关键, 物理吸附水分子的均匀性直接影响Al2O3薄膜的均匀性. 在适当的温度窗口(100~130℃), Al2O3可以均匀沉积在石墨烯上, AFM测得Al2O3薄膜表面均方根粗糙度(RMS)为0.26 nm, X射线光电子能谱(XPS)表面分析与元素深度剖析表明, 120℃下在石墨烯表面沉积的Al2O3薄膜中O和Al元素的含量比约为1.5. 拉曼光谱分析表明, 采用H2O-based ALD工艺沉积栅介质薄膜不会降低石墨烯晶体质量.

关键词: 石墨烯; 原子层沉积; Al2O3薄膜

采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积Al2O3介质薄膜研究

张有为 , 万里 , 程新红 , 王中健 , 夏超 , 曹铎 , 贾婷婷 , 俞跃辉

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.11663

采用水基原子层沉积(H2O-based ALD)方法在石墨烯上直接生长Al2O3介质薄膜,研究了Al2O3成核机理.原子力显微镜(AFM)对Al2O3薄膜微观形态分析表明,沉积温度决定着Al2O3在石墨烯表面的成核生长情况,物理吸附在石墨烯表面的水分子是Al2O3成核的关键,物理吸附水分子的均匀性直接影响Al2O3薄膜的均匀性.在适当的温度窗口(100~130℃),Al2O3可以均匀沉积在石墨烯上,AFM测得Al2O3薄膜表面均方根粗糙度(RMS)为0.26 nm,X射线光电子能谱(XPS)表面分析与元素深度剖析表明,120℃下在石墨烯表面沉积的Al2O3薄膜中O和Al元素的含量比约为1.5.拉曼光谱分析表明,采用H2O-based ALD工艺沉积栅介质薄膜不会降低石墨烯晶体质量.

关键词: 石墨烯 , 原子层沉积 , Al2O3薄膜

基于SCR的SOI ESD保护器件研究

夏超 , 王中健 , 何大伟 , 徐大伟 , 张有为 , 程新红 , 俞跃辉

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.01.004

本文具体分析了体硅SCR(晶闸管)和SOI SCR的抗静电特性,利用软件Sentaurus对埋氧层3μm,顶层硅1.5μm的SOI衬底上的SCR进行了工艺和性能仿真,仿真结果达到了4.5kV的抗静电能力,符合目前人体模型的标准2KV.研究发现,注入剂量(9*13 -8*14cm-2)增加会引起触发电压减小,维持电压升高;Trench长度(0.8 -1.1μm)增加,器件触发电压几乎不变,维持电压降低;场氧化层长度(2 -4.5μm)增加,触发电压和维持电压均增加.

关键词: SOI ESD , SCR , Sentaurus , 保护器件

CR340/590DP热轧原料激光焊接组织与性能探讨

李晓峰 , 张有为 , 宋浩源 , 乔建军 , 闻达 , 李佳根

物理测试 doi:10.13228/j.b0yuan.issn1001-0777.20140001

试验对CR340/590DP热轧原料钢激光焊接组织性能进行探讨.采用激光焊机进行焊接试验,使用扫描电子显微镜观察焊缝组织,焊接接头组织为柱状晶粒,遵循凝固理论.焊缝组织为先共析铁素体、下贝氏体和低碳马氏体,热影响区为块状铁素体和少量珠光体,焊缝有较好的强韧性.使用维氏硬度计对焊缝的力学性能进行测试:在垂直于激光焊接焊缝方向呈现3个区域,为焊缝区,热影响区和基体;在平行于激光焊接焊缝方向上,焊缝中心区域硬度无明显变化.利用杯突试验进行焊缝的深冲压性能测试,首次破裂出现在基体上.对焊后接头中容易出现的气孔缺陷进行分析,探讨缺陷产生的主要原因和有效的防止措施.

关键词: CR340/590DP钢 , 激光焊接 , 显微组织 , 硬度

热轧带肋钢筋力学性能波动及时效试验

张有为

物理测试

研究了HRB335、HRB400 钢筋筋时效后的拉伸性能变化,找出了热轧带肋钢筋力学性能指标值的波动特点,并提出了减小工厂检验与用户检验力学性能指标值的差异的方法。

关键词: 时效 , hot - rolled reinforced bar , tensile property

土壤源跨临界CO2循环空调和热泵系统实验研究

姜培学 , 张有为 , 张富珍 , 林钰淞 , 王国梁

工程热物理学报

设计并搭建了太阳能辅助土壤源跨临界CO2空调与热泵热水实验系统,通过水路阀门的控制,可以使系统工作在制冷工况、制热工况、热水工况、制热+热水工况、制冷+热水工况等模式下.进行了多组利用土壤源制热工况实验,取得了很好的实验结果和较高的性能系数;实验结果验证了理论分析结果.实验过程中监测到地埋管系统测温点的温度不断下降,分析了温度下降的原因并提出了下一步实验方案.

关键词: 跨临界CO2循环 , 空调和热泵系统 , 土壤源

金属表面溶胶-凝胶防腐蚀涂层的研究进展

聂志云 , 刘继华 , 张有为 , 周涛 , 答建成 , 杨涛

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.06.015

在各种防腐蚀的方法中,溶胶-凝胶法是一种操作简单、环境友好、成本低廉的表面涂层制备技术,被广泛应用于许多金属材料表面的腐蚀防护上。简单地介绍了溶胶-凝胶法的基本原理以及易改性、易控温、无污染的优点,重点阐述了影响涂层耐腐蚀性能的相关工艺参数,包括水解温度、pH值、陈化时间、反应物浓度、热处理温度等。详细综述了溶胶-凝胶法制备防腐蚀涂层工艺的特点与研究现状,经过单一无机氧化涂层到多元复合涂层的发展,涂层的性能得到提升,应用范围更加广泛。介绍了溶胶-凝胶涂层的3个防腐蚀机理,包括屏蔽作用、缓蚀钝化作用、牺牲阳极保护作用,阐述了涂层的防腐蚀机制,为研究新的防腐蚀工艺提供理论基础。最后,总结了目前防腐蚀涂层研究过程中所遇到的困难,并展望了可能的解决方法,为未来的研究提供了发展方向。

关键词: 溶胶-凝胶法 , 防腐蚀 , 金属 , 涂层

低合金高强钢激光焊接组织性能的探讨

李晓峰 , 宋浩源 , 张有为 , 乔建军 , 闻达 , 李佳根

物理测试 doi:10.13228/j.boyuan.issn1001-0777.20130149

对H300LA和H420LA热轧原料钢激光焊接组织性能进行探讨.采用激光焊机对热轧原料钢进行了焊接试验,采用扫描电子显微镜观察焊缝组织,使用维氏硬度计进行焊缝力学性能测试,利用杯突试验进行焊缝的深冲压性能测试.结果表明:焊接接头组织均为柱状晶粒,遵循凝固理论.H300LA焊缝组织以针状铁素体和低碳马氏体为主,热影响区以条块状铁素体和珠光体为主;H420LA焊缝组织以层片状珠光体和低碳马氏体为主,热影响区以铁素体、珠光体和低碳马氏体为主.在垂直于激光焊接焊缝方向呈现3个区域:焊缝区、热影响区和基体;在平行于激光焊接焊缝方向上,焊缝中心区域硬度值无明显变化.焊缝均具有良好的深冲压性,未出现裂纹延焊缝扩展的现象.

关键词: 低合金高强钢 , 激光焊接 , 显微组织 , 硬度

热轧带肋钢筋力学性能波动及时效试验

张有为

物理测试

研究HRB400热轧带肋钢筋时效前后物理性能变化.找出钢筋力学性能指标值的波动特点,提出了减小工厂榆验与用户检验力学性能指标值的差异的方法.

关键词: 时效 , 钢筋 , 拉伸

汽车零部件表面强化技术研究现状及展望

答建成 , 周细应 , 周涛 , 张有为 , 杨涛

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.07.013

在传统渗碳、渗氮及表面淬火工艺的汽车零部件表面强化技术基础上,简单综述了传统工艺在汽车零部件表面强化上应用的工艺优缺点及研究现状,重点阐述了新型表面形变强化、高能束流表面强化、表面冶金强化、表面复合强化及表面纳米强化的汽车零部件表面强化技术,详细介绍了目前广泛使用的新型表面形变强化中的喷丸强化工艺、高能束流表面强化中的激光表面淬火与电子束表面淬火工艺及表面冶金强化中等离子喷涂工艺的技术特点和应用现状,分析了国内外汽车零部件表面复合强化技术和表面纳米强化技术的工艺特点和研究现状,尤其是将表面复合强化技术中的传统工艺与传统工艺、传统工艺与新型工艺、新型工艺与新型工艺的多种复合工艺的相互结合及QPQ盐浴复合处理技术在汽车零部件表面强化上的应用,最后展望了未来汽车零部件表面强化技术的发展方向。

关键词: 汽车零部件 , 表面形变强化 , 高能束流表面强化 , 表面冶金强化 , 复合强化 , QPQ盐浴复合 , 表面纳米强化

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