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提拉法生长单晶工艺中扩肩阶段实行自动控制的研究

周志强 , 张振志 , 康平 , 成肇安 , 杜小红

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2001.04.014

在用提拉法(Czochralski)生长钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNbO3)单晶的实践中,通过对上"浮秤”模拟体的优化设计,成功实现了扩肩工艺阶段的自动控制.

关键词: 提拉法 , 自动扩肩 , 上"浮秤” , 优化设计 , 逆向模拟