牛南辉
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王怀兵
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刘建平
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刘乃鑫
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邢艳辉
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李彤
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张念国
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韩军
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邓军
,
沈光地
功能材料
利用金属有机物化学气相沉积技术在具有斜切角度的蓝宝石衬底(0～0.3°)上生长了非故意掺杂GaN薄膜,并采用显微镜、X射线双晶衍射、光荧光及霍尔技术对外延薄膜的表面形貌、晶体质量、光学及电学特性进行了分析.结果表明,采用具有斜切角度的衬底,可以有效改善GaN外延薄膜的表面形貌、降低位错密度、提高GaN的晶体质量及其光电特性,并且存在一个衬底最优斜切角度0.2°,此时外延生长出的GaN薄膜的表面形貌和晶体质量最好.
关键词:
氮化镓
,
蓝宝石衬底
,
斜切角度
,
DCXRD
,
MOCVD
