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衬底温度对射频磁控溅射制备HfO2薄膜结构的影响

闫丹 , 吴平 , 邱宏 , 俞必强 , 赵云清 , 张师平 , 吕反修

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.05.011

采用射频磁控溅射法在氧氩比为0.2的混合气氛中,分别在室温、100℃、200℃、250℃、300℃、350℃和400℃温度下,在P-Si(100)衬底上制备了HfO2薄膜,并用SEM、XRD和AFM研究了衬底温度与薄膜沉积速率对微结构的影响.结果表明:随着衬底温度的增加,薄膜沉积速率呈减小趋势.室温沉积的HfO2薄膜为非晶态,当衬底温度高于100℃,薄膜出现单斜晶相,随着衬底温度继续增加,(111)择优取向更加明显,晶粒尺寸增大,薄膜表面粗糙度减小.

关键词: 射频磁控溅射 , HfO2薄膜 , 衬底温度 , 微观结构

氧气在梯度磁场中流动及扩散行为研究

栗凤超 , 王立 , 吴平 , 张师平

工程热物理学报

氧气是顺磁性气体,氮气是抗磁性气体,其在梯度磁场中具有不同的磁特性。氮气与氧气在受到梯度磁场影响时,其流动及扩散情况会呈现不同的行为特性。本文建立多通道层叠磁体阵列结构试验系统,并根据高纯氮气在多通道层叠磁体阵列结构气流通道中流动时气体中氧含量的变化,进行空气中氧气以及高纯氮气在具有梯度磁场作用时的流动及扩散情况的研究。高纯氮气在多通道层叠磁体阵列结构气流通道流动过程中,在气流通道两侧出口边界处,气流通道外空气中氧气扩散、高纯氮气流动传质以及梯度磁场对氧气的吸附作用存在动态平衡,而且气流通道两侧的梯度磁场可以有效增强气流通道外空气中氧气向气流通道内的扩散作用。

关键词: 梯度磁场 , 顺抗磁性气体 , 流动 , 扩散

正电子湮没技术探讨铜对微合金钢缺陷的影响

杨锐杰 , 吴平 , 李向龙 , 王宝义 , 张师平 , 陈森

物理测试 doi:10.13228/j.boyuan.issn1001-0777.20130134

采用正电子湮没寿命和多普勒展宽谱探讨了含铜超低碳微合金钢在连续冷却过程中,微量元素铜对其缺陷的影响.结果表明:从1 150℃以5℃/s冷速到850℃的过程中,超低碳微合金钢中的主要缺陷为单空位和位错;铜元素不仅显著影响了微合金钢中缺陷数量随温度的变化规律,并且降低了单空位和位错缺陷的总数量;不含铜微合金钢中缺陷数量随温度的降低先增大再减小,且在1 000℃时达到最大值;含铜微合金钢中缺陷数量随温度的降低基本保持不变.

关键词: 微合金钢 , 位错 , 单空位 , 缺陷浓度 , 自由电子密度

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