徐宗伟
,
兀伟
,
张少婧
,
赵兵
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.06
概述了基于聚焦离子束（ Focused Ion Beam， FIB）加工技术制备金刚石切削刀具的相关研究进展，并介绍了金刚石刀具在超精密加工领域的研究背景及其制造现状。作为一种先进的微纳制造技术，聚焦离子束已在微尺度金刚石刀具制造研究中发挥了重要作用。针对金刚石刀具的刃口半径、刃形精度等核心参数，国内外相关研究者开展了聚焦离子束制造方法与工艺优化研究，实现了高质量刀具的制造，聚焦离子束加工可获得刃口半径为15～22 nm 的金刚石刀具制造。从微观切削基础和微纳光学元件制造两个角度，论述了聚焦离子束制造金刚石刀具的应用研究进展，介绍了其在纳米切削机理、微纳尺度光学元件制造中的应用。最后从提高FIB制造效率、应用研究拓展等角度，对该领域未来的发展进行了展望。
关键词:
聚焦离子束
,
先进制造
,
超精密加工
,
金刚石刀具
