黄卫东
,
王旭洪
,
盛玫
,
徐立强
,
罗乐
,
冯涛
,
王曦
,
张富民
,
邹世昌
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.015
利用等离子体化学气相沉积( PECVD)技术 ,采用不同的沉积条件 (20～ 180℃的基板温度范 围和 10～ 30W的射频功率 )制备了氮化硅薄膜,研究了沉积条件对氮化硅薄膜性质和防水性能的 影响.实验发现随着基板温度的增加 ,氮化硅薄膜的密度、折射率和 Si/N比相应增加 ,而沉积速 率和 H含量相应减少 ;随着射频功率的增加 ,氮化硅薄膜的沉积速率、密度、折射率和 Si/N比相 应增加 ,而 H含量相应减少.水汽渗透实验发现即使基板温度降低为 50℃,所沉积的氮化硅薄膜 仍然具有良好的防水性能.实验结果表明低温氮化硅薄膜可以有效地应用于有机发光器件( OLED) 的封装.
关键词:
氮化硅薄膜
,
有机发光器件
,
封装
张元卓
,
于兹瀛
,
张富民
,
肖强
,
钟依均
,
朱伟东
催化学报
doi:10.3724/SP.J.1088.2012.20352
采用浸渍法制备了在水煤气变换(WGS)反应中具有高催化活性的 Ni/γ-Al2O3催化剂,使用柠檬酸法合成出高效 CO2吸收剂 Li2ZrO3纳米材料.在固定床微反应器上对 WGS 和吸附强化水煤气变换(SE-WGS)反应制氢过程进行了比较研究.前者只使用20% Ni/γ-Al2O3催化剂,而后者将20% Ni/γ-Al2O3催化剂与纳米 Li2ZrO3吸收剂混合装填.结果表明,纳米 Li2ZrO3具有比已报道的 CO2吸收剂更快的吸收速率及优异的吸脱附循环稳定性,可应用于吸附强化过程,通过原位吸收 WGS 反应产生的CO2,使得反应超越化学平衡限制,直接制得高纯度 H2.在823 K,0.1 MPa 和 H2O/CO =4的条件下,在 SE-WGS 过程一步制得纯度高于98%的 H2,验证了吸附强化反应进程制高纯氢的可行性.
关键词:
制氢
,
二氧化碳
,
吸收剂
,
水煤气变换反应
,
锆酸锂
