张吉强
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罗江山
,
罗炳池
,
吴卫东
稀有金属材料与工程
采用二叔丁基铍(t-Bu2Be.Et2O)蒸气在加热的衬底上以热解的方式制备透明的BeH2薄膜.通过加热BeH2薄膜并借助氢气气相色谱仪探测到了薄膜释放的H2.X射线光电子能谱分析表明,薄膜表面层几乎完全被氧化成BeO.傅里叶变换红外光谱显示存在强烈的BeHBe键弯曲振动吸收峰.因此,二叔丁基铍在加热的基片上以分解的方式能够制备出BeH2薄膜.
关键词:
二叔丁基铍
,
薄膜
,
化学气相沉积
,
气相色谱
,
红外光谱
罗炳池
,
罗江山
,
李恺
,
张吉强
,
吴卫东
,
唐永建
稀有金属材料与工程
采用真空蒸镀法制备厚度400～2100 nm、表面均方根粗糙度Rq＜6.0 nm的Be薄膜.XRD结果表明不同厚度Be薄膜均由hcp结构的(aBe)相组成.当蒸发温度从1243 K增加至1403 K时,Be原子沉积速率急剧增大,α-Be晶粒平均直径增大近3倍,其择优取向发生显著改变.薄膜表面小岛由不规则的多边形晶粒逐渐转化为棱角分明的六边形晶粒,而横截面形貌始终以柱状晶生长为主,它垂直于基片呈定向排列.此外,理论计算的Be薄膜生长速率与实验测定的结果十分吻合,它与平衡蒸气压成正比,随蒸发温度的升高而呈指数函数关系增大.
关键词:
铍薄膜
,
蒸镀
,
柱状晶
,
岛状生长
