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傅瑶 , 杜国平 , 叶志清 , 张兴娇
低温物理学报
本文用脉冲激光溅射沉积法(PLD)在LaAlO3(100)基片上外延生长YB%Cu307-δ掺锆酸钡(BZO)薄膜.用X射线衍射、透射电镜对薄膜结构进行分析.探索PLD沉积的最佳实验参数,最佳沉积温度为800℃,最佳氧分压为25 Pa,最佳沉积频率为3 Hz.
关键词: YBCO , BZO , PLD , 高温超导薄膜
