张丛春
,
石金川
,
刘兴刚
,
杨春生
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.048
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜.通过原位加热或后续热处理使薄膜晶化.借助X-ray衍射分析、电感耦合等离子体发射光谱、原子力显微镜等手段研究了溅射工艺对薄膜显微结构的影响.实验结果表明,溅射时是否加热对薄膜的结晶取向影响很大,而氧分压则影响La/Ni比.衬底不加热时,通过后续热处理得到多晶的随机取向薄膜,而当溅射时原位加热300℃,则得到有明显(100)择优取向的薄膜.
关键词:
磁控溅射
,
镍酸镧薄膜
,
择优取向
,
沉积温度
侯捷
,
张丛春
,
杨春生
,
丁桂甫
功能材料
采用射频磁控溅射(rf magnetron sputtering)在Si(100)衬底上生长得到MgO薄膜.将在不同气压和Ar分压条件下得到的样品在氧气氛围下1000℃退火并进行X射线衍射(XRD)分析,结果表明,溅射总气压和O2分压影响MgO薄膜的择优取向,控制总气压和Ar分压可以控制MgO薄膜的晶格取向,Si衬底取向也对薄膜的择优取向产生影响.通过扫描电子显微镜(SEM)分析发现,MgO薄膜经过高温退火形成结晶并产生了表面裂纹.
关键词:
射频磁控溅射
,
MgO
,
XRD
,
SEM
张丛春
,
杨春生
,
石金川
,
丁桂甫
功能材料
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜.通过后续热处理使薄膜晶化,并用四探针法测量了薄膜的表面电阻率.借助X射线衍射分析、电感耦合等离子体发射光谱、原子力显微镜等手段研究了溅射工艺及热处理温度对薄膜显微结构的影响.实验结果表明,在氧气氛保护下,于550℃处理1h,薄膜晶化.溅射氧分压在10%～25%之间,700℃热处理时可以得到表面光滑致密且电性能较好的薄膜.
关键词:
磁控溅射
,
LaNiO3薄膜
,
显微结构
,
电阻率
李艳春
,
汪红
,
张丛春
,
姚锦元
,
丁桂甫
,
赵小林
功能材料
在玻璃基底上溅射Ti或Cr／Cu种子层，并对Ti基板表面进行预处理．研究基底表面粗糙度、热处理温度对于Ni微结构镀层结合强度的影响。结果表明，基底表面粗糙度、热处理温度对Ni微结构镀层与基底的结合强度有较大影响，经过200℃的热处理，溅射Ti及Cr／Cu种子层与Ni微结构的结合强度提高近1倍。通过EC-SPM、SEM等分析手段，初步探讨了结合强度的影响机制。
关键词:
Ni微结构
,
粗糙度
,
热处理
,
结合强度
张丛春
,
周东祥
,
龚树萍
功能材料
概述了低压ZnO压敏电阻材料的制备工艺、应用技术、粉料制备,以及晶界特性、导电模型、老化机理的研究进展和研究中存在的问题,并对以后的发展方向进行了展望.着重讲述了掺杂物对烧结过程、晶粒生长和晶界结构的作用以及显微结构(晶粒大小及晶界状态)均匀性对电性能和老化特性的影响,并提出了改善老化性能的关键措施.
关键词:
ZnO陶瓷
,
低压压敏电阻
,
显微结构
,
晶界
,
老化
