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热处理对钛酸锶钡薄膜光学性能的影响

赵丽丽 , 翟春雪 , 朱红丹 , 廖付友 , 刘艳秋

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.18.006

采用无水溶胶-凝胶技术制备了钛酸锶钡光学薄膜,研究了预处理温度对钛酸锶钡薄膜表面形貌的影响,系统分析了退火温度对钛酸锶钡薄膜的相结构、微观形貌和光学性能的影响.结果表明,膜的物相、结构和形貌均对其光学性能起决定作用,制备致密、均匀的晶态薄膜是使钛酸锶钡薄膜具有高的光学透过率、大的折射率和小的消光系数的关键.通过150℃预处理和850℃退火获得了晶化程度良好,表面形貌平整、致密的钛酸锶钡薄膜,该膜在350~1000nm的最大光透过率为80.72%,在600~1000nm的折射率稳定在约1.93,在400~1000nm范围消光系数稳定在约4×10-5.

关键词: 钛酸锶钡 , 薄膜 , 预处理 , 退火 , 光学性能

无水溶胶-凝胶制备钛酸锶钡的热分析及膜光学性能研究

赵丽丽 , 廖付友 , 王敬远 , 高永进 , 董文娟 , 张智翔

材料导报

利用无水溶胶-凝胶技术制备了Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜,采用TG-DSC对干凝胶的热反应过程进行了详细分析,结果表明,经过350℃和450℃处理后的非晶薄膜为碳酸盐而非钛酸盐.450℃退火1h处理的非晶薄膜在350~1000nm的光学透过率大于80%,在470nm处的折射率最大(1.94),消光系数较小(0.003).800℃退火1h获得了晶态薄膜,该晶态薄膜的光学透过率也较好,在λ=670nm处的折射率最大(2.05),消光系数为0.07.

关键词: 钛酸锶钡 , 溶胶-凝胶法 , 薄膜 , 热分析 , 光学性能

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