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脉冲偏压对矩形平面大弧源离子镀TiN膜层性能的影响

林永清 , 巩春志 , 魏永强 , 田修波 , 杨士勤 , 关秉羽 , 于传跃

材料研究学报

采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜, 研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响. 结果表明, 随着脉冲偏压的增大, 薄膜中大颗粒的数目先增加后减少, 这是大颗粒受到离子拖曳力和电场力双重作用的结果. 存在一个最佳的脉冲偏压, 使得制备...

关键词: 无机非金属材料 , null , null

凹槽工件表面常规磁控与高功率脉冲磁控溅射沉积钒薄膜的研究

李春伟 , 田修波 , 刘天伟 , 秦建伟 , 杨晶晶 , 巩春志 , 杨士勤

稀有金属材料与工程

高功率脉冲磁控溅射是一种制备高质量薄膜的新兴方法.在相同的平均功率下分别采用HPPMS技术和传统DCMS技术在凹槽工件表面制备了钒薄膜.对比研究了两种方法下的等离子体组成、薄膜的晶体结构、表面形貌及膜层厚度的异同.结果表明:HPPMS产生的等离子体包括Ar(1+),v(0)和相当数量的v(1+);而...

关键词: 高功率脉冲磁控溅射 , 凹槽工件 , 钒薄膜 , 均匀性 , 膜厚

高压对高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积氧化钒薄膜的影响

李春伟 , 巩春志 , 吴忠振 , 刘天伟 , 秦建伟 , 田修波 , 杨士勤

功能材料

利用高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积技术制备了氧化钒薄膜,分别采用X射线衍射仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜和电化学分析仪研究了不同高压幅值对氧化钒薄膜的相结构、表面形貌、截面形貌以及耐腐蚀性能的影响。结果表明制备的氧化钒薄膜以VO2(-211)相为主,还含有少量的VO2(111)、VO(220...

关键词: 高功率脉冲磁控放电 , 等离子体离子注入与沉积 , 氧化钒薄膜 , 高压 , 耐腐蚀性

脉冲偏压对矩形平面大弧源离子镀TiN 膜层性能的影响

林永清 , 巩春志 , 魏永强 , 田修波 , 杨士勤 , 关秉羽 , 于传跃

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2008.04.012

采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜,研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响.结果表明,随着脉冲偏压的增大,薄膜中大颗粒的数目先增加后减少,这是大颗粒受到离子拖曳力和电场力双重作用的结果.存在一个最佳的脉冲偏压,使得制备出的TiN膜层...

关键词: 无机非金属材料 , 离子镀 , 矩形靶 , 脉冲偏压 , 氮化钛 , 耐磨性

PET表面SiO2-AgCl复合薄膜制备及其性能研究

杨敏旋 , 巩春志 , 田修波 , 杨士勤

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.04.010

以正硅酸乙酯和AgNO3为主要原料,采用溶胶-凝胶分步水解法,引入有机γ-氯丙基三乙氧基硅烷(CPTES)和表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)或聚乙烯吡咯烷酮(PVP),在PET基体上制备了抗菌SiO2-AgCl复合薄膜.通过对薄膜进行表面接触角测量、摩擦磨损性能检测、折叠实验及耐水性和抗菌...

关键词: 溶胶-凝胶 , PET , 复合薄膜 , SiO2-AgCl , 十六烷基三甲基溴化铵 , 聚乙烯吡咯烷酮

添加K2ZrF6对LY12铝合金微弧氧化膜层结构调制及隔热性能影响

张欣盟 , 陈东方 , 巩春志 , 杨士勤 , 田修波

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00865

基于K2ZrF6在碱性溶液中形成负电 Zr(OH)4 颗粒的作用机理, 在添加K2ZrF6的Na2SiO3-KOH溶液中, 对LY12铝合金表面进...

关键词: 铝合金 , microarc oxidation , micro-structure , modulation effect

Cu-Zn掺杂对TiN复合膜层组织性能的调制

韦春贝 , 巩春志 , 田修波 , 杨士勤

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.01231

利用磁控溅射方法在不锈钢表面沉积了Cu-Zn掺杂TiN复合膜, 研究不同的Cu、Zn含量对膜层结构和性能(硬度、耐磨性能以及耐腐蚀性能)的影响. 结果表明, 掺杂的Cu、Zn可以阻止TiN晶粒生长, 随掺杂量增加TiN晶粒细化, Cu、Zn含量比较高时由于金...

关键词: 磁控溅射 , TiN films , doped Cu-Zn

溅射气压对铝合金表面HPPMS沉积钒薄膜摩擦学性能的影响

李春伟 , 田修波 , 刘天伟 , 秦建伟 , 巩春志 , 杨士勤

稀有金属材料与工程

采用高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)技术,在铝合金基体上制备V薄膜.研究溅射气压对V薄膜相结构、表面形貌及摩擦学性能的影响.结果表明:不同气压下制备的V薄膜中的V相仅沿(111)晶面生长,其衍射峰强度先增强后减弱,当气压为0.5 Pa时,衍射峰最强且择优取向最明显;同时,V薄膜表面质量最好,其表面粗...

关键词: 高功率脉冲磁控溅射(HPPMS) , V薄膜 , 溅射气压 , 摩擦系数 , 退火

三角形铝件微弧氧化膜层不均匀之因探讨

马英鹤 , 贾文攀 , 王晓波 , 巩春志 , 田修波

材料保护

微弧氧化膜层表面不均匀会对其应用产生影响,过去对其产生的原因研究很少.利用自制的微孤氧化电源在恒压模式下于硅酸盐电解液中对边长为100mm的正三角形纯铝件进行微弧氧化处理,利用涡流测厚仪、SEM分析以及电化学分析等对三角形顶角区域、边缘中心区域和中心区域的膜层厚度、形貌和性能不均匀性进行了表征.结果...

关键词: 微弧氧化 , 膜层 , 不均匀 , 正三角形铝材

阴极弧径向不同位置膜层性能分布规律

魏永强 , 巩春志 , 田修波 , 杨士勤

稀有金属材料与工程

利用阴极弧沉积的方法在201不锈钢基体上制备了TiN薄膜,研究了阴极弧径向不同位置大颗粒、膜厚以及膜层性能的分布规律.分别采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了膜层的相结构、膜层的表面形貌和截面形貌.研究了镀膜试样和基体在3.5%(质量分数)NaCl溶液中的腐蚀行为,并利用电化学方...

关键词: 多弧离子镀 , 硬度 , TiN , 摩擦磨损 , 电化学腐蚀

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