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溅射氩气压对射频磁控溅射制备 ZnO∶Al 薄膜性能的影响

刘超英 , 陈玮 , 徐志伟 , 付静 , 左岩 , 马眷荣

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.07.011

采用磁控溅射方法在玻璃衬底上使用掺杂3%(质量分数)Al2 O 3的 ZnO 陶瓷靶材制备出了掺铝氧化锌(ZnO ∶ Al,AZO)透明导电薄膜.分别用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的性能进行了表征和分析.研究了溅射过程中不同氩气压强(0.3~1.2 Pa)对薄膜结构、形貌及光电性能的影响.XRD 测试结果表明,所制备的薄膜均具有呈c 轴择优取向的纤锌矿结构.当氩气压强为0.3 Pa时,AZO 薄膜的电阻率最低为6.72×10-4Ω?cm.所有样品在可见光波段的平均透过率超过85%.

关键词: 氩气压力 , 射频磁控溅射 , AZO 薄膜 , 光电性能

飞机舷窗有机中空透明件的变形和应力分析

刘立忠 , 纪毅璞 , 包亦望 , 左岩

航空材料学报 doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2009.02.016

针对某机型飞机舷窗有机中空透明件的载荷特点,建立了用于计算中空透明件变形和应力的迭代算法和有限元模型,并通过试验验证了该算法和有限元模型的准确性.对多种规格有机中空透明件进行了计算,分析了变形和应力与舱外气压、有机玻璃板厚度、气体层厚度的关系.

关键词: 有机中空透明件 , 有限元 , 迭代算法 , 应力 , 变形

有机-无机层合玻璃的热应力分析

包亦望 , 左岩 , 石新勇 , 马眷荣

航空材料学报 doi:10.3969/j.issn.1005-5053.1999.03.009

分析了膨胀系数相差一个数量级的两种透明材料的非对称层合结构在均匀变温下的热应力分布以及应力与材料参数、几何尺寸的关系.推导了含软胶夹层梁的热应力表达式.为无机与有机玻璃的复合结构作为飞机风挡的可行性分析提供理论基础.

关键词: 热应力 , 软硬层合 , 胶层 , 风挡

掺铝氧化锌透明导电膜的研究进展

刘超英 , 左岩 , 许杰

材料导报

掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜作为一种性能优异的多功能材料引起了研究人员的普遍关注,被认为是当前极具发展潜力的传统铟锡氧化物(ITO)薄膜的替代者.综述了AZO薄膜的不同制备工艺,并叙述了衬底温度、Al掺杂量、氧分压、退火条件、同质缓冲层5个因素对薄膜的结构以及光电性能的影响.针对AZO透明导电薄膜的研究现状,提出了今后的研究方向:理论与经验相结合,优化工艺设备,在提高薄膜透光率的同时进一步降低其表面电阻和制造成本,并不断开拓AZO薄膜新的应用领域.

关键词: 透明导电膜 , 薄膜结构 , 光电特性 , 禁带宽度 , 玻璃基片

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