石彦超
,
李彬
,
李佳君
,
左勇刚
,
白旸
,
刘浩
,
孙占峰
,
马殿理
,
陈广超
人工晶体学报
对自行设计的RF喷射等离子体增强化学气相沉积系统(RF plasma jet CVD)进行了电子温度和电子密度的模拟计算分析.在优化的参数下进行了金刚石膜体的制备,并应用光发射谱技术(OES)在线分析了等离子体的成分.通过Raman、XRD和SEM分析了沉积样品的成分、晶体结构和形貌.通过在反应气体中加入NH3,并利用载气技术将含有Ni元素的金属有机物引入到沉积区,进行了Ni、N共掺杂沉积.利用XPS以及PL谱分析了掺杂样品的化学价键和光致发光特性,结果发现Ni-N价键的存在以及在800 nm附近的光发射峰.
关键词:
化学气相沉积
,
射频喷射等离子体
,
金刚石
,
Ni-N掺杂
左勇刚
,
张利波
,
刘秉国
,
彭金辉
,
李健
,
马爱元
材料导报
基于中心组合设计的响应曲面法,研究了微波干燥温度、干燥时间和白炭黑厚度及其交互作用对白炭黑相对脱水率的影响,得到了影响因素与白炭黑相对脱水率之间的二次方数学模型,获得了微波干燥白炭黑的优化工艺条件,即干燥温度90℃,干燥时间32 min,物料厚度10mm,此条件下白炭黑的相对脱水率为99.68％.所得物料经粉碎,采用行业标准和激光粒度仪进行表征测试,其加热减量为1.2％,灼烧减量为49.8％,平均粒度为11μm.
关键词:
响应曲面法
,
微波干燥
,
白炭黑
,
相对脱水率
