岳金顺
,
程文娟
,
蒋钢娟
,
贺德衍
,
陈光华
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z2.029
本文研究以六方BN为靶材,CH4为反应气体,利用射频溅射技术制备BCN三元化合物薄膜.样品的结构由X射线衍射谱、傅立叶变换红外吸收谱和X射线光电子能谱等方法进行表征.实验结果表明样品是具有类石墨涡旋蜂窝状结构的BCN三元化合物.通过改变CH4分压,能够控制薄膜中的C含量:随CH4分压的增高,薄膜中C含量增大,电导率也显著增大.当CH4分压比在10%附近时,样品呈现半导体特性,由电导率-温度关系曲线求得电导激活能约为0.8eV.
关键词:
BCN薄膜
,
射频反应溅射
,
结构和电学特性
