高汉超
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尹志军
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张朱峰
人工晶体学报
研究了100 mm GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)外延材料量产的稳定性控制.通过选择控制参数和控制周期,提高了外延材料性能的重复性和稳定性.12个样品方阻的标准差为0.53％,全部偏差1.66％.通过优化生长工艺有效的降低了样品表面颗粒,样品表面颗粒数量减小到612/片,这些参数均达到或超过国外主流外延厂商水平.
关键词:
GaAs赝配高电子迁移晶体管
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分子束外延
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控制
,
稳定性
肖卓豪
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朱立刚
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尹志军
硅酸盐通报
本文以低铝高烧失量粉煤灰为主要原料,采用高温融熔法制备粉煤灰微晶玻璃,粉煤灰的综合利用率可达60％以上.利用DTA分析了所制备基础玻璃的热效应,并据其制定了相应的热处理制度,采用XRD、SEM等检测方法对微晶玻璃试样的晶相种类和微晶结构进行分析研究,并测试了所制备微晶玻璃的抗弯强度等性能.实验表明,粉煤灰玻璃在800℃开始生成Ca5Al6O14晶体,升温至900℃开始有均匀分布的CaSiO3晶相出现,1000℃以上有显著的软化流动现象.所制备的微晶玻璃密度为2.79～2.96 9·cm-3、抗弯强度为112～125 MPa.
关键词:
粉煤灰
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微晶玻璃
,
制备工艺
,
抗弯强度
