傅明喜
,
李岩
,
查燕青
,
宗华
,
卢永惠
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2005.05.020
采用磁控溅射法制备Ti、NdFeB薄膜,并研究分析了工艺参数对Ti薄膜及NdFeB磁性薄膜表面形态的影响.试验结果表明,在一定的工艺条件下,通过对基片的加热控制可以获得单一方向生长的柱状晶结构薄膜.随着溅射功率的提高,NdFeB薄膜的沉积均匀性降低.
关键词:
薄膜
,
表面形态
,
加热控制
,
溅射功率
傅明喜
,
宗华
,
李岩
,
查燕清
稀有金属材料与工程
采用直流励磁磁控溅射法制备NdFeB稀土永磁薄膜.研究分析了衬底预热与定向沉积法对薄膜结构和磁性能的影响.实验结果表明:定向沉积技术制备出的NdFeB薄膜表面形成单一方向的柱状晶,该柱状晶生长方向垂直于薄膜表面,使薄膜具有良好的磁各向异性,薄膜矫顽力大大提高,H⊥/H∥比值改善.在预热温度200℃逐渐加热到500℃并保温10 min时,薄膜磁性能最佳.
关键词:
NdFeB薄膜
,
定向沉积
,
动态加热
,
磁性能
