彭燕
,
宁丽娜
,
高玉强
,
徐化勇
,
宋生
,
蒋锴
,
胡小波
,
徐现刚
人工晶体学报
利用光学显微镜、显微拉曼光谱仪研究了4H-SiC晶体表面形貌和多型分布.显微镜观察结果显示4H-SiC小面生长螺蜷线呈圆形,沿<11(2-)0>方向容易出现裂缝.裂缝两侧有不同的生长形貌.拉曼光谱结果显示缺陷两侧为不同的晶型,裂缝实际为晶型转化的标志.纵切片观察发现,在4H-SiC和15R-SiC多型交界处产生平行于<11(2-)0>方向裂缝;15R-SiC多型一旦出现,其径向生长方向平行于<11(2-)0>方向,轴向生长方向平行于<000(1-)>方向.
关键词:
4H-SiC
,
裂缝缺陷
,
晶型转变
宋生
,
崔潆心
,
杨昆
,
徐现刚
,
胡小波
,
黄万霞
,
袁清习
人工晶体学报
提出了一种利用同步辐射白光形貌术定量计算晶体残余应力的方法.晶体的残余应力与晶格畸变之间存在定量关系,衍射斑点的畸变程度可以反映晶格的畸变量,据此可以计算晶体中的残余应力.文中以碳化硅单晶样品残余应力的定量计算作为实例,展示了实验方法和计算过程.结果表明该样品的残余应力以正应力为主.
关键词:
同步辐射
,
白光形貌术
,
残余应力
,
碳化硅
