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VO2薄膜的制备及其热致相变特性研究

宋林伟 , 黄婉霞 , 张玉波 , 徐元杰 , 张阳 , 李娜 , 李丹霞

功能材料

以双氧水和V2O5粉末为前驱体制备出V2O5溶胶,然后在云母基底上成膜,通过后续热处理退火得到优异相变性能的VO2薄膜.采用SEM、XRD分析薄膜形貌和微观结构,利用FT-IR等检测薄膜的光学性质.实验表明,VO2薄膜在云母基底上沿(011)晶面择优取向生长,颗粒生长致密且大小分布均匀.薄膜具有优异的相变陡然性,相变温度及滞后温宽都较低.在红外波段,相变前后透过率及反射率变化都较大,对红外光调节性能较好;在可见光波段,薄膜在相变前后都具有较高可见光透过率.

关键词: VO2薄膜 , 相变特性 , 溶胶-凝胶 , 双氧水 , 光学性质

合成条件对多孔VO2薄膜形貌和光学性能的影响

徐元杰 , 黄婉霞 , 施奇武 , 张阳 , 宋林伟

功能材料

以云母(001)为衬底,采用无机溶胶-凝胶法,通过加入表面活性剂十二烷基三甲基溴化铵(CTAB),在不同条件下制备了多孔VO2薄膜.采用SEM、FT-IR等手段分析了薄膜的表面形貌和热致相变性能.结果表明,膜的热处理工艺参数等对薄膜的表面形貌、颗粒尺寸及光学性能有重要影响,多孔VO2薄膜的形成与退火温度、保温时间及退火环境有关.

关键词: VO2薄膜 , 多孔 , CTAB , 光学性能 , 形貌

TiO2中间层对基于溶胶-凝胶法制备的VO2薄膜光学特性的影响

张玉波 , 黄婉霞 , 宋林伟 , 颜家振 , 施奇武 , 张阳

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.12409

为了提高VO2薄膜的热致相变性能,采用复合结构与掺杂相结合的方法,首先通过溶胶-凝胶法在云母基底上制备锐钛型TiO2薄膜,再在光致亲水性处理的TiO2/云母基底上涂覆V2O5以及掺钨V2O5水溶胶,然后经热处理获得VO2/TiO2及VxW1-xO2/TiO2复合薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)研究薄膜的物相、表面形貌以及热致相变特性.结果表明,VO2/TiO2复合薄膜晶体生长为(011)面择优取向;VxW1-xO2/TiO2复合薄膜产生多种取向.TiO2中间层有助于使VO2薄膜生长致密,相变温度降低,更使VxW1-xO2/TiO2复合薄膜滞后温宽降至约4℃.

关键词: 氧化钒薄膜 , 复合薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 光致亲水 , 热致相变

W-Mo复合离子掺杂VO2薄膜热滞回线的热调制现象

张阳 , 黄婉霞 , 施奇武 , 宋林伟 , 徐元杰

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2013.12358

以单晶si (100)为基底,采用无机溶胶-凝胶法在其表面制备W-Mo复合离子掺杂VO2薄膜.采用SEM、XRD等手段分析了薄膜的表面形貌和晶体结构.在热驱动下,利用原位FTIR分析了W-Mo复合离子掺杂VO2薄膜半导体-金属相变性能.结果显示:单晶Si (100)表面VO2薄膜具有(011)择优生长取向,W6+、Mo6+取代了V4+在晶格中的位置,实现置换掺杂.热滞回线分析表明,与未掺杂VO2薄膜相比,V1-x-yMoxWyO2薄膜相变温度降低,滞后温宽减小,同时相变陡然性变差,相变温宽增大;在相变温度区间内,温度路径对红外透过率具有调制效果,其调制作用受原始热滞回线的制约.

关键词: 二氧化钒薄膜 , 红外光学性能 , W-Mo复合掺杂 , 热调制

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