李义锋
,
唐伟忠
,
苏静杰
,
安晓明
,
刘晓晨
,
姜龙
,
孙振路
人工晶体学报
介绍了自行研制的环形天线-椭球谐振腔式高功率MPCVD装置的结构特点,展示并研究了新装置在高功率条件下的放电特性.在10.5 kW的高微波输入功率下成功制备了直径50 mm,厚度接近1 mm的高品质自支撑金刚石膜.在真空泄漏速率约2.5 ×10-6 Pa·m3/s的条件下金刚石膜的生长速率达到6μm/h,金刚石膜厚度偏差小于±2.1％.抛光后的金刚石膜红外透过率在6.5～25μm范围内接近71％;紫外透过率在270 nm处超过50％,金刚石膜样品的光学吸收边约为225 nm;通过紫外吸收光谱计算的金刚石膜样品中的氮杂质含量约为1.5 ppm;金刚石膜的拉曼半峰宽小于1.8 cm-1.
关键词:
金刚石膜
,
化学气相沉积
,
高功率
,
氮杂质
,
椭球谐振腔
安晓明
,
苟立
,
何琨
,
冉均国
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.01.005
采用微波等离子体法,分别使用H和O等离子体对金刚石薄膜表面进行改性处理.通过扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM),X射线光电子能谱(XPS),并结合接触角随时间变化的曲线,初步评价了改性前后薄膜表面显微结构和成分的变化对亲水性的影响.结果表明:同一条件下制备的金刚石薄膜表面形貌、粗糙度差异不会影响表面亲水性;改性前金刚石薄膜亲水性差,H、O等离子体改性后薄膜表面接触角由原来的81°下降到20°以下,形成了亲水性良好的表面;暴露在空气中后,接触角在前3天的变化很大,这种变化与薄膜表面成分的改变密切相关.
关键词:
金刚石薄膜
,
改性
,
微波等离子体
,
接触角
,
亲水性
苏静杰
,
杨梓
,
李义锋
,
唐伟忠
,
安晓明
,
郭辉
无机材料学报
doi:10.15541/jim20140629
针对金刚石膜微波介电损耗低、厚度薄带来的微波介电性能测试难点，研制了一台分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置。利用不同直径的蓝宝石单晶样品，用上述装置对低损耗薄膜类样品微波介电性能的测试能力及样品直径对测试结果的影响进行了实验研究。在此基础上，使用分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置对微波等离子体化学气相沉积法和直流电弧等离子体喷射法制备的高品质金刚石膜在 Ka 波段的微波介电性能进行了测试比较。测试结果表明，由Raman光谱、紫外-可见光谱等分析证明品质较优的微波等离子体化学气相沉积法制备的金刚石膜具有更高的微波介电性能，其相对介电常数和微波介电损耗值均低于直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜。
关键词:
微波介电性能
,
分体圆柱谐振腔
,
金刚石膜
刘晓晨
,
姜龙
,
安晓明
人工晶体学报
金刚石具有优异的物理化学性能,在很多领域的应用前景十分诱人.用化学气相沉积(CVD)法实现高沉积速率、高质量、大面积金刚石单晶的制备成为了当今研究的一个热点.本文综述了影响微波等离子体化学气相沉积法制备单晶金刚石的工艺参数,并简单介绍了国内外在单晶金刚石制备上的进展,最后对CVD金刚石单晶的应用前景进行了展望.
关键词:
MPCVD
,
金刚石单晶
,
综述
