欢迎登录材料期刊网
宁智华 , 王治国 , 傅永庆 , 祖小涛
材料导报
TiNi基形状记忆合金薄膜除具有和体材料相同的形状记忆特性外,还因表面积大、散热能力好,改善了体材料响应速度较慢的缺点,在微电子机械系统领域是一种具有广阔应用前景的材料.综述了近年来TiNi基形状记忆合金薄膜研究现状,并对其应用进行了评述.
关键词: TiNi基形状记忆合金 , 薄膜 , 制备 , 微驱动器
